本申请涉及经由有机蒸气喷射印刷OVJP来输送有机材料的装备和方法。所公开标的物的实施例提供一种装备，其具有设置于微制造流控裸片上的微喷嘴阵列的装置。所述装置可包括第一气体分布板和第二对置板，其中所述微制造流控裸片设置在所述第一气体分布板与所述第二对置板之间，其中所述第一气体分布板经由气密式密封不可逆地连接到所述微喷嘴阵列，并且其中所述第一气体分布板包括多个密封流动路径。歧管可以可逆地连接到所述第一气体分布板，其中所述微制造流控裸片和所述第一气体分布板和所述第二对置板设置在所述歧管之间。导热板可以具有至少一个窗口，所述窗口向相对于所述导热板在一定范围内移动的所述装置提供间隙配合。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高温、低轮廓、可接合的气体分布板和对置板，其用于使喷射头与大型气体输送系统耦联以便经由有机蒸气喷射印刷(ovjp)输送有机材料；以及包括所述板的装置和技术。
技术介绍
1、出于许多原因，利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造所述装置的许多材料相对较为便宜，因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用，如在柔性衬底上的制造。有机光电装置的实例包括有机发光二极管/装置(oled)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。对于oled，有机材料可以具有优于常规材料的性能优势。举例来说，有机发射层发射光所处的波长通常可以用适当的掺杂剂容易地调节。
2、oled利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时会发射光。oled正成为用于如平板显示器、照明和背光的应用中的日益受关注的技术。若干oled材料和配置描述于美国专利案第5,844,363号、第6,303,238号和第5,707,745号中，其以全文引用的方式并入本文中。
3、磷光发射分子的一个应用是全色显示器。针对此类显示器的行业标准需要适合于发射特定颜色(称为“饱和”色)的像素。具体来说，这些标准需要饱和红色、绿色和蓝色像素。或者，oled可经设计以发射白光。在常规液晶显示器中，使用吸收滤光器过滤来自白色背光的发射以产生红色、绿色和蓝色发射。相同技术也可以用于oled。白色oled可以是单一eml装置或堆叠结构。可以使用所属领域中所熟知的cie坐标来测量颜色。
>4、如本文中所用，术语“有机”包括可以用于制造有机光电装置的聚合材料和小分子有机材料。“小分子”是指不是聚合物的任何有机材料，并且“小分子”可能实际上相当大。在某些情况下，小分子可能包括重复单元。例如，使用长链烷基作为取代基不会将分子从“小分子”类别中移除。小分子也可以并入到聚合物中，例如作为聚合物主链上的侧基或作为主链的一部分。小分子也可以作为树枝状聚合物的核心部分，所述树枝状聚合物由一系列建立在核心部分上的化学壳组成。树枝状聚合物的核心部分可以是荧光或磷光小分子发射体。树枝状聚合物可以是“小分子”，并且认为当前在oled领域中使用的所有树枝状聚合物都是小分子。5、如本文所用，“顶部”意指离衬底最远，而“底部”意指最靠近衬底。在第一层被描述为“安置于”第二层“上方”的情况下，第一层被安置于离基板较远处。除非规定第一层“与”第二层“接触”，否则第一与第二层之间可以存在其它层。举例来说，即使阴极和阳极之间存在各种有机层，仍可以将阴极描述为“安置于”阳极“上方”。
6、如本文所用，“溶液可处理”意指能够以溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、分散或传输和/或从液体介质沉积。
7、当认为配体直接促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“光敏性的”。当认为配体并不促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“辅助性的”，但辅助性配体可以改变光敏性配体的性质。
8、如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一能级较接近真空能级，那么第一“最高占用分子轨道”(highest occupied molecular orbital，homo)或“最低未占用分子轨道”(lowest unoccupied molecular orbital，lumo)能级“大于”或“高于”第二homo或lumo能级。由于将电离电位(ip)测量为相对于真空能级的负能量，因此较高homo能级对应于具有较小绝对值的ip(较不负(less negative)的ip)。类似地，较高lumo能级对应于具有较小绝对值的电子亲和性(ea)(较不负的ea)。在顶部是真空能级的常规能级图上，材料的lumo能级高于相同材料的homo能级。“较高”homo或lumo能级表现为比“较低”homo或lumo能级更靠近这个图的顶部。
9、如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一功函数具有较高绝对值，那么第一功函数“大于”或“高于”第二功函数。因为通常将功函数测量为相对于真空能级的负数，所以这意指“较高”功函数是更负的(more negative)。在顶部是真空能级的常规能级图上，“较高”功函数经说明为在向下方向上离真空能级较远。因此，homo和lumo能级的定义遵循与功函数不同的定则。
10、本文可以参考层、材料、区和装置发射的光的颜色来对它们进行描述。一般来说，如本文所用，描述为产生特定颜色的光的发射区域可以包括一或多个呈堆叠方式安置在彼此上的发射层。
11、如本文所用，“红色”层、材料、区域或装置是指在约580-700nm的范围内发射光或其发射光谱在所述区域中具有最高峰的层、材料、区域或装置。类似地，“绿色”层、材料、区或装置是指发射或具有峰值波长在约500-600nm范围内的发射光谱的层、材料、区或装置；“蓝色”层、材料或装置是指发射或具有峰值波长在约400-500nm范围内的发射光谱的层、材料或装置；并且“黄色”层、材料、区或装置是指具有峰值波长在约540-600nm范围内的发射光谱的层、材料、区或装置。在一些布置中，单独区域、层、材料、区域或装置可以提供单独的“深蓝色”和“浅蓝色”光。如本文中所用，在提供单独的“浅蓝色”和“深蓝色”分量的布置中，“深蓝色”分量是指峰值发射波长比“浅蓝色”分量的峰值发射波长小至少约4nm的分量。通常，“浅蓝色”分量的峰值发射波长在约465nm到500nm范围内，且“深蓝色”分量的峰值发射波长在约400nm到470nm范围内，但是对于一些配置来说这些范围可以变化。类似地，颜色改变层是指将另一颜色的光转换或修改成具有指定用于所述颜色的波长的光的层。举例来说，“红色”滤色片是指形成具有在约580-700nm范围内的波长的光的滤色片。一般来说，存在两类颜色改变层：通过去除光的非所需波长修改光谱的滤色片，以及将较高能量的光子转换成较低能量的颜色改变层。“颜色的”分量是指在激活或使用时产生或以其它方式发射具有如先前所述的特定颜色的光的分量。举例来说，“第一颜色的第一发射区域”和“不同于第一颜色的第二颜色的第二发射区域”描述当在装置内激活时发射如先前所述的两种不同颜色的两个发射区域。
12、如本文所用，发射材料、层和区域可基于由所述材料、层或区域最初产生的光，而不是由相同或不同结构最终发射的光彼此区分开，并与其它结构区分开。初始光产生通常是导致光子发射的能级变化的结果。举例来说，有机发射材料可初始地产生蓝光，所述蓝光可通过滤色片、量子点或其它结构转换成红光或绿光，使得完整的发射堆叠或子像素发射红光或绿光。在此情况下，初始发射材料或层可被称为“蓝色”分量，即使子像素为“红色”或“绿色”分量。
13、在一些情况下，可优选地根据1931cie坐标描述分量的颜色，如发射区域、子像素、颜色改变层等的颜色。举例来说，黄色发射材料可具有多个峰值发射波长，一个在“绿色”区域的边缘中或附近，且一个在“红色”区域的边缘内或附近，如先前所描述。因此，如本文本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种装备，其包含：
2.根据权利要求1所述的装备，其中所述微喷嘴阵列被设置在所述微制造流控裸片的边缘上。
3.根据权利要求1所述的装备，其中所述微喷嘴阵列被设置在所述微流控裸片的端面上。
4.根据权利要求1所述的装备，其中所述第二对置板是第二气体分布板，且其中所述歧管经由气密式密封连接到所述第一气体分布板。
5.根据权利要求1所述的装备，其中所述第一气体分布板包含在室温与锡焊的回焊温度之间平均热膨胀系数小于4x10-6 K-1的材料。
6.根据权利要求1所述的装备，其中所述第一气体分布板和第二对置板是由选自由以下组成的群组中的至少一者制成：单晶硅、柱状硅和多晶硅。
7.根据权利要求1所述的装备，其中所述微制造流控裸片和所述微喷嘴阵列包含硅，并且所述微制造流控裸片与所述第一气体分布板接合。
8.根据权利要求1所述的装备，其中所述导热板包含内衬有绝热材料的窗口。
9.根据权利要求1所述的装备，其中所述第一气体分布板和第二对置板包含一或多种选自由以下组成的群组的绝热材料：单晶硅、柱状硅和多晶硅。
10.根据权利要求1所述的装备，其进一步包含：
11.一种装备，其包含：
12.根据权利要求11所述的装备，其中所述第一气体分布板包含在室温与锡焊的回焊温度之间平均热膨胀系数小于4x10-6 K-1的材料。
13.根据权利要求11所述的装备，其中所述装置包含选自由以下组成的群组中的至少一者：钼、钨、科伐合金、氮化铝、氮化硅、单晶硅、柱状硅和多晶硅。
14.根据权利要求11所述的装备，所述微喷嘴阵列包含硅。
15.根据权利要求11所述的装备，其进一步包含：
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【技术特征摘要】
1.一种装备，其包含：
2.根据权利要求1所述的装备，其中所述微喷嘴阵列被设置在所述微制造流控裸片的边缘上。
3.根据权利要求1所述的装备，其中所述微喷嘴阵列被设置在所述微流控裸片的端面上。
4.根据权利要求1所述的装备，其中所述第二对置板是第二气体分布板，且其中所述歧管经由气密式密封连接到所述第一气体分布板。
5.根据权利要求1所述的装备，其中所述第一气体分布板包含在室温与锡焊的回焊温度之间平均热膨胀系数小于4x10-6 k-1的材料。
6.根据权利要求1所述的装备，其中所述第一气体分布板和第二对置板是由选自由以下组成的群组中的至少一者制成：单晶硅、柱状硅和多晶硅。
7.根据权利要求1所述的装备，其中所述微制造流控裸片和所述微喷嘴阵列包含硅，并且所述微制造流控裸片与所述第一气体分布板接...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·金，格雷格·科塔斯，G·麦格劳，W·E·奎因，
申请(专利权)人：环球展览公司，
类型：发明
国别省市：
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