【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆亲水性的测试装置及测试方法。
技术介绍
1、在芯片制造的过程中，有特殊的工艺需要对晶圆表面的亲水性进行评估，目前采用的方法为滴水式测试，即在晶圆上滴水，通过量测水滴和晶圆平面的夹角。若夹角小于90度，表面呈亲水性，即液体较容易润湿固体，夹角越小，表面润湿性越好；夹角大于90度，表面呈疏水性，即液体不容易润湿固体，容易在表面上移动。
2、目前，滴水式测试晶圆亲水性的方法并不能完整地对整面晶圆的亲水性能分布进行评估，从而导致只能对晶圆平面逐个位置进行检测，导致检测测试的复杂性高、效率低，同时逐个位置的检测容易导致在每一次进行滴水的量不同导致检测的准确性低。
3、因此，目前亟需一种能够提高晶圆亲水性检测测试的准确性和效率、降低测试复杂性的方法。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种晶圆亲水性的测试装置及测试方法，以解决现有技术中晶圆亲水性检测测试的准确性和效率低，复杂性高的技术问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种晶圆亲水性的测试装置，包括：底座和支架；所述支架的顶端设置有水平方向的伸缩装置，所述伸缩装置的末端设置有滴水器；
3、所述底座上方设置有载台和照相机，所述载台通过轴承与所述底座连接，以使得所述载台能够通过所述轴承相对于所述底座转动；
4、所述载台上方设置有固定卡位，所述固定卡位用于固定待检测的晶圆。
5、作为优选方案，所述滴水器，用于向所述晶圆
6、作为优选方案，所述照相机，用于获取所述晶圆水平表面上的水滴与所述晶圆接触的侧视图照片。
7、作为优选方案，所述伸缩装置，用于控制所述滴水器在所述晶圆的圆心朝外的方向移动。
8、相应地，本专利技术还提供一种晶圆亲水性的测试方法，由上任意一项所述的圆亲水性的测试装置实现，包括：
9、在待检测的晶圆固定于固定卡位中时，对伸缩装置、照相机和轴承进行初始化操作；其中，所述晶圆的圆心在所述轴承上方；
10、控制伸缩装置将滴水器移动至所述晶圆的圆心正上方，并通过滴水器向所述晶圆的圆心滴水，从而通过照相机获取圆心水滴的初始照片，并根据所述初始照片获得所述晶圆圆心区域的亲水性信息；
11、通过控制所述伸缩装置和所述轴承，依次来进行晶圆各位置的亲水性测试，以使得在每进行一次亲水性测试的过程中，控制所述轴承转到预设角度，通过控制伸缩装置将所述滴水器依次向所述晶圆的边缘移动，并在每隔一个预设步长，均执行滴水器的滴水与照相机的拍照，从而获取在每一个滴水位置上的晶圆的亲水性信息；所述预设角度有若干个；
12、直至所述轴承转完所有预设角度后，根据所得到的全部亲水性信息，构建所述待检测的晶圆的亲水性分布图，从而完成晶圆亲水性的测试。
13、作为优选方案，所述控制伸缩装置将滴水器移动至所述晶圆的圆心正上方，并通过滴水器向所述晶圆的圆心滴水，从而通过照相机获取圆心水滴的初始照片，并根据所述初始照片获得所述晶圆圆心区域的亲水性信息，具体为：
14、控制伸缩装置将滴水器的滴水口移动至所述晶圆的圆心正上方，以使得控制所述滴水器向所述晶圆的圆心滴水；
15、通过照相机来获取所述晶圆在水平方向上的水滴与所述晶圆接触的初始侧视图照片，并对所述初始侧视图照片的水滴进行水平夹角的识别，得到水滴与所述晶圆在水平方向的平面的夹角；
16、根据所述水滴与所述晶圆在水平方向的平面的夹角，得到所述晶圆圆心区域的亲水性信息。
17、作为优选方案，所述控制所述轴承转到预设角度，通过控制伸缩装置将所述滴水器依次向所述晶圆的边缘移动，并在每隔一个预设步长，均执行滴水器的滴水与照相机的拍照，从而获取在每一个滴水位置上的晶圆的亲水性信息，具体为：
18、控制所述轴承转到预设角度；
19、通过控制伸缩装置，将所述滴水器由所述晶圆的圆心向所述晶圆的边缘移动，并在所述滴水器移动期间，每隔一个预设步长，控制所述滴水器的滴水操作以及所述照相机的拍照，从而获得在该预设角度下的所述晶圆的圆心向所述晶圆的边缘的各滴水位置的待检测照片；
20、对所得到的待检测照片进行水滴与水平方向的夹角的识别，从而根据识别结果，得到在该预设角度下的所述晶圆的圆心向所述晶圆的边缘的各滴水位置的亲水性信息。
21、作为优选方案，所述直至所述轴承转完所有预设角度后，根据所得到的全部亲水性信息，构建所述待检测的晶圆的亲水性分布图，具体为：
22、直至所述轴承转完所有预设角度后，根据各预设角度下的所有滴水位置的亲水性信息，以及所述晶圆圆心区域的亲水性信息，构建出所述晶圆按照各滴水位置划分后的亲水性分布图。
23、相比于现有技术，本专利技术实施例具有如下有益效果：
24、本专利技术的技术方案能够通过设置于支架上的伸缩装置，以及设置于底座上的载台和照相机，进而通过轴承，将固定好的待检测晶圆进行转动，并对晶圆的不同区域进行水滴和照相操作，从而可以系统性的完成对晶圆不同位置亲水性的量测和分析，避免了现有技术只能逐个不同位置的依次检测，导致的检测测量与操作复杂性高的问题，同时通过伸缩装置、轴承和照相机的自动化测量，能够简化测量的操作过程，也确保了测量过程的准确性和晶圆亲水性检测的效率，提高了用户的使用体验。
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1.一种晶圆亲水性的测试装置，其特征在于，包括：底座和支架；所述支架的顶端设置有水平方向的伸缩装置，所述伸缩装置的末端设置有滴水器；
2.如权利要求1所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述滴水器，用于向所述晶圆的水平表面滴入水滴。
3.如权利要求2所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述照相机，用于获取所述晶圆水平表面上的水滴与所述晶圆接触的侧视图照片。
4.如权利要求1所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述伸缩装置，用于控制所述滴水器在所述晶圆的圆心朝外的方向移动。
5.一种晶圆亲水性的测试方法，其特征在于，由权利要求1-4任意一项所述的圆亲水性的测试装置实现，包括：
6.如权利要求5所述的一种晶圆亲水性的测试方法，其特征在于，所述控制伸缩装置将滴水器移动至所述晶圆的圆心正上方，并通过滴水器向所述晶圆的圆心滴水，从而通过照相机获取圆心水滴的初始照片，并根据所述初始照片获得所述晶圆圆心区域的亲水性信息，具体为：
7.如权利要求6所述的一种晶圆亲水性的测试方法，其特征在于，所述控制所述轴承
8.如权利要求7所述的一种晶圆亲水性的测试方法，其特征在于，所述直至所述轴承转完所有预设角度后，根据所得到的全部亲水性信息，构建所述待检测的晶圆的亲水性分布图，具体为：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆亲水性的测试装置，其特征在于，包括：底座和支架；所述支架的顶端设置有水平方向的伸缩装置，所述伸缩装置的末端设置有滴水器；
2.如权利要求1所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述滴水器，用于向所述晶圆的水平表面滴入水滴。
3.如权利要求2所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述照相机，用于获取所述晶圆水平表面上的水滴与所述晶圆接触的侧视图照片。
4.如权利要求1所述的一种圆亲水性的测试装置，其特征在于，所述伸缩装置，用于控制所述滴水器在所述晶圆的圆心朝外的方向移动。
5.一种晶圆亲水性的测试方法，其特征在于，由权利要求1-4任意一项所述的圆亲水性的测试装置实现，包括：
6.如权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王思维，
申请(专利权)人：星钥珠海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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