温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆亲水性的测试装置及测试方法，方法包括：底座和支架；所述支架的顶端设置有水平方向的伸缩装置，所述伸缩装置的末端设置有滴水器；所述底座上方设置有载台和照相机，所述载台通过轴承与所述底座连接，以使得所述载台能够通过所述轴承相对...
该专利属于星钥（珠海）半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过星钥（珠海）半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。