【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及加速度传感器。
技术介绍
1、用于测量作用于物体的加速度的加速度传感器被广泛用于掌握例如物体的姿势、动作、振动状态等。此外，加速度传感器强烈要求小型化。为了满足这样的要求，使用所谓的mems(微机电系统)的技术来实现加速度传感器的小型化。例如，在专利文献1中公开了使用mems技术的静电电容型的加速度传感器。
2、专利文献1所记载的加速度传感器的传感器部通过对半导体基板进行加工而形成。在这样的加速度传感器中，根据温度变化，偏置量会发生变化。因此，有可能因温度变化而产生检测误差。偏置量根据温度变化而变化，这推测是由于温度变化而对半导体基板施加应力的原因。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2019-49434号公报。
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开的目的在于提供一种能够降低基于温度变化引起的检测误差的加速度传感器。
3、用于解决问题的技术手段
4、本公开的一实施方式提供一种加速度传感器，包括：检测规定方向的加速度的加速度检测部；和检测针对所述加速度检测部的偏置量的偏置检测部，所述加速度检测部包括：内部形成有第一空腔的第一半导体基板；第一固定结构，其包括以相对于所述第一空腔悬浮的状态被支承于所述第一半导体基板的第一固定电极；和第一可动结构，其包括以相对于所述第一空腔悬浮的状态经由弹性结构被支承于所述第一半导体基板的第一可动电极，所述第一可动电极能够相对于
5、在该构成中，能够降低基于温度变化引起的检测误差。
6、本公开的上述的或进一步其他的目的、特征和效果，参照附图通过以下所述的实施方式的说明而明确。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种加速度传感器，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于：
7.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于：
9.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：
10.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种加速度传感器，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：
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