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加速度传感器包括：检测规定方向的加速度的加速度检测部；和检测针对加速度检测部的偏置量的偏置检测部。偏置检测部包括：内部形成有第二空腔的第二半导体基板；第二固定结构，其包括以相对于第二空腔悬浮的状态被支承于第二半导体基板的第二固定电极；第二可...
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