一种声学薄膜精密激光加工装置以及激光加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种声学薄膜精密激光加工装置以及激光加工方法，使用飞秒激光结合共聚焦显微镜，实现了声学薄膜的原位精密加工，大大提高了振膜的良品率，在进行声学薄膜的加工前先进行声学性能的采集，根据采集的声学性能确定加工的参数，实现了对于任意声学薄膜的独立加工，在实际进行加工时利用共聚焦显微镜先测量声学薄膜的实际表面形貌，并根据实际表面形貌于预期表面形貌的差值计算需要减去的厚度，并据此设置激光的功率，加工更加精确，采用与照明光源同样波长的激光，并设置空间光调制器使得加工激光和照明激光同一个焦点，降低了加工时的计算和控制难度，简化了设备，提高了效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光加工领域，具体涉及一种声学薄膜精密激光加工装置以及激光加工方法。

技术介绍

1、高端耳机对于高精度的声学薄膜要求越来越高，需要振膜具有超大的频率响应范围，以提供更丰富、更真实的音频体验。需要极高的线性度，即在输入信号变化时输出的声音保持相对稳定和准确，避免失真和色偏，使得音质更加清晰、准确。需要极高的灵敏度，提供更强的音响效果，使得音乐更具动态和层次感。且需要低失真和高分辨率，即在声音输出过程中尽可能减少信号失真和信噪比，并能够还原更多细节和音频信息。

2、但是高精度的声学薄膜一般是在基材上镀上金属薄膜，这需要精确的控制镀膜参数，通过调整镀膜设备的参数，如镀膜速度、温度、压力等，尽量减小金属薄膜厚度的波动范围。或者采用在线检测技术，在镀膜过程中引入在线检测技术，如光谱分析、表面轮廓测量等，实时监测金属薄膜的厚度，并及时反馈给控制系统进行调整，从而保证镀膜的一致性。但是上述的方法还是难以保证镀膜的结果完全一致，且在镀膜过程中无法验证镀膜产品的实际声学参数，因此如何对镀膜后的声学薄膜进一步加工是当前需要解决的问题。

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【技术保护点】

1.一种声学薄膜精密激光加工装置，包括工控主机（6）、上料模块（1）、下料模块（2）、清洁模块（3）、显微模块（4）和加工模块（5），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

7.一种声学薄膜精密激光加工方法，使用权利要求1-6任...

【技术特征摘要】

1.一种声学薄膜精密激光加工装置，包括工控主机（6）、上料模块（1）、下料模块（2）、清洁模块（3）、显微模块（4）和加工模块（5），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的声学薄膜精密激光加工装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：边仿，
申请(专利权)人：天津海星辉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：