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一种声学薄膜精密激光加工装置以及激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:40098404
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本发明涉及一种声学薄膜精密激光加工装置以及激光加工方法,使用飞秒激光结合共聚焦显微镜,实现了声学薄膜的原位精密加工,大大提高了振膜的良品率,在进行声学薄膜的加工前先进行声学性能的采集,根据采集的声学性能确定加工的参数,实现了对于任意声学薄膜...
该专利属于天津海星辉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津海星辉科技有限公司授权不得商用。
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