【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种除去氢气中少量氯化氢的装置。
技术介绍
1、目前多晶硅生产普遍采用改良西门子法工艺，该工艺通过在1000℃左右将三氯氢硅和氢气在硅芯表面发生化学气相沉积反应，反应后尾气的主要组分为氯硅烷(三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅)、氢气和氯化氢。反应后的尾气主要通过干法回收进行循环再利用，具体过程是将尾气经过换热和低温冷凝后，氯硅烷被冷凝为液体在进行精馏分离，氯化氢经过压缩和冷凝后再用氯硅烷液体吸收，氢气作为不凝气经除去其中的少量氯化氢后循环至冷氢化工序后闭环使用。
2、现在多晶硅生产企业对氢气中的少量氯化氢主要通过物理方式除去，该方式存在的弊端主要有吸附效率低，吸附柱需要频繁再生，能耗较高且容易引入其他杂质，导致影响后续工序的使用。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例提供一种除去氢气中少量氯化氢的装置，主要目的是提供一种能够降低能耗和成本，同时提高氯化氢的去除率的一种除去氢气中少量氯化氢的装置。
2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
3、本技术实施例提供了一种除去氢气中少量氯化氢的装置，该装置包括：
4、预热部件，所述预热部件包括第一预热组件、第二预热组件和混合器，所述第一预热组件和所述第二预热组件连接于所述混合器；
5、反应组件，所述反应组件包括气体分布器和填装部件，所述气体分布器的进口连接于所述混合器，所述填装部件连接于所述气体分布器；
6、冷却组件，所述冷却
7、进一步的，所述反应组件还包括换热部件，所述换热部件连接于所述气体分布器。
8、进一步的，所述反应组件还包括吹扫部件，所述吹扫部件连接于所述填装部件。
9、进一步的，所述第一预热组件包括缓冲罐和第一预热器，所述缓冲罐连接于所述第一预热器，所述第一预热器连接于所述混合器。
10、进一步的，所述第二预热组件包括低沸物储罐、第二预热器和汽化器，所述第二预热器的两端分别连接于所述低沸物储罐和汽化器，所述汽化器连接于所述混合器。
11、进一步的，所述预热部件还包括三通组件，所述三通组件包括三通管道、第一单向阀和第二单向阀，所述三通管道具有第一连接管道、第二连接管道和第三连接管道，所述第一连接管道连接于所述第一预热器，所述第二连接管道连接于所述第二预热器，所述第三连接管道连接于所述混合器，所述第一单向阀设置在所述第一连接管道上，所述第二单向阀设置在所述第二连接管道上。
12、进一步的，所述冷却组件包括第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器，所述第一冷却器、所述第二冷却器和所述第三冷却器依次顺序连接，所述气体分布器的出口连接于所述第一冷却器。
13、进一步的，所述冷却组件还包括氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐连接于所述第三冷却器。
14、与现有技术相比，本技术具有如下技术效果：
15、本技术实施例提供的技术方案中，预热部件的作用是将带有氯化氢的混合气体进行预热，所述预热部件包括第一预热组件、第二预热组件和混合器，所述第一预热组件和所述第二预热组件连接于所述混合器；反应组件的作用是通过催化剂将氯化氢进行反应，所述反应组件包括气体分布器和填装部件，所述气体分布器的进口连接于所述混合器，所述填装部件连接于所述气体分布器；冷却组件的作用是对反应后的物质进行冷却并分离氢气，所述冷却组件连接于所述气体分布器的出口，相对于现有技术，将尾气经过换热和低温冷凝后，氯硅烷被冷凝为液体在进行精馏分离，氯化氢经过压缩和冷凝后再用氯硅烷液体吸收，氢气作为不凝气经除去其中的少量氯化氢后循环至冷氢化工序后闭环使用，该方式存在的弊端主要有吸附效率低，吸附柱需要频繁再生，能耗较高且容易引入其他杂质，导致影响后续工序的使用，本技术方案中，通过将带有氯化氢的氢气和低沸物通过预热后输送到混合器进行混合，然后输送到气体分布器，填装部件内装载催化剂，将催化剂输送到气体分布器中进行催化，使混合气体与低沸物进行反应，使氯化氢与低沸物中的物质发生化学反应并转化为多晶硅生产所需的生产原料，使得氢气中的氯化氢被反应，然后通过冷却组件进行冷却，然后将氢气作为不凝气体输送到其他工序中使用，从而达到分离氢气中的氯化氢的技术效果，并且还达到了减少能源消耗的技术效果。
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1.一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的一种除去氢气中少量氯化氢的装置，其特征在于，
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：童翔，孙永仕，万仕华，梁国东，郑万亮，陈志兵，魏育斌，吕启宁，周彦锋，王洪运，
申请(专利权)人：新疆其亚硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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