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本技术公开了一种除去氢气中少量氯化氢的装置，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低能耗和成本，同时提高氯化氢的去除率的一种除去氢气中少量氯化氢的装置。本技术的主要技术方案为：一种除去氢气中少量氯化氢的装置，包括：预热部件，所...
该专利属于新疆其亚硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆其亚硅业有限公司授权不得商用。

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