【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅制作，具体为一种具有统计通量的循环气调节阀。
技术介绍
1、目前冷氢化流化床法是处理四氯化硅的主要生产工艺，该法以四氯化硅、氢气、硅粉为原料，以氯化亚铜、氯化铜、铜合金等为催化剂，在一定的温度、压力条件下，在氢化反应炉中发生气-固相反应，生成三氯氢硅，转化率约为20～25％，如何实现并提高转化率，物料的进料配比是其中一项重要的影响因素。
2、现有技术方案是在生产中分别设置四氯化硅进料流量计和循环气流量计，分别将流量转换成摩尔流量后，得到进料氢气与四氯化硅的摩尔比，在控制进料四氯化硅流量一定的情况下，通过循环气调节阀控制循环气流量，从而改变进料配比。
3、现有技术缺点是因循环气中除氢气外还含有少量的氮气，氧气，氯化氢，二氯二氢硅，三氯氢硅，四氯化硅，甲烷等，根据气体流量计的设备特点，循环气流量计并不能准确反应循环气的流量，流量计显示流量和实际流量有较大的偏差，进而造成进料配比与实际配比有较大偏差，不利于连续生产的稳定控制和准确调整。
4、因此，设计一种实用性高，且能够进行气流通量统计的循环气调节阀是很有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种具有统计通量的循环气调节阀，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种具有统计通量的循环气调节阀，包括主阀体、附件与电气件，所述主阀的左侧一体成型有第一进气接口，所述主阀体的右侧一体成型有出气接口，所述主阀体的后侧一体成型有第
3、根据上述技术方案，所述附件内转到安装有阀芯，所述阀芯转动设于导流孔中部，所述主阀体下表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端与阀芯固定连接。
4、根据上述技术方案，所述主阀体的前表面开设有外置腔，所述外置腔内嵌装有电磁环套，所述缩颈孔与外置腔间滑动安装有推杆，所述推杆的前端定装有锥塞，所述锥塞与缩颈孔相互配合，所述推杆的尾端与电磁环套相互配合。
5、根据上述技术方案，所述推杆包括主滑杆，所述主滑杆的前端一体成型有嵌装端头，所述主滑杆的后端一体成型有限位盘，所述限位盘的后端一体成型有尾端芯杆，所述尾端芯杆的外周嵌套有若干永磁环。
6、根据上述技术方案，所述伺服电机与电磁环套均电连接电气件，所述主阀体内开始有布线孔，所述电气件的连接缆线均置于布线孔内。
7、根据上述技术方案，所述外置腔的腔口出嵌装有封闭盖。
8、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：本技术，通过电气件对第一进气接口与第二进气接口的进气量进行有效的监测，从而对阀芯与锥塞进行控制，从而对两个通路进行进气量进行调节与控制，以此实现对循环气量进行监测与控制，能够更好的对生产进行稳定控制。
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1.一种具有统计通量的循环气调节阀，包括主阀体(1)、附件(2)与电气件(3)，其特征在于：所述主阀的左侧一体成型有第一进气接口(4)，所述主阀体(1)的右侧一体成型有出气接口(6)，所述主阀体(1)的后侧一体成型有第二进气接口(5)，所述第二进气接口(5)的底部主阀体(1)开设有缩颈孔(12)，所述出气接口(6)的底部主阀体(1)开始有内孔(11)，所述内孔(11)与缩颈孔(12)连通，所述附件(2)固定安装于主阀体(1)的下表面，所述附件(2)内开始有导流孔，且导流孔的两端连通第一进气接口(4)与出气接口(6)，所述电气件(3)固定安装于主阀体(1)的上表面，所述第一进气接口(4)内固定安装有第一气流量传感器(9)，所述第二进气接口(5)内固定安装有第二气流量传感器(10)，所述第一气流量传感器(9)与第二气流量传感器(10)均电连接电气件(3)。
2.根据权利要求1所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述附件(2)内转到安装有阀芯(7)，所述阀芯(7)转动设于导流孔中部，所述主阀体(1)下表面固定安装有伺服电机(8)，所述伺服电机(8)的输出端与阀
3.根据权利要求2所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述主阀体(1)的前表面开设有外置腔(13)，所述外置腔(13)内嵌装有电磁环套(14)，所述缩颈孔(12)与外置腔(13)间滑动安装有推杆(15)，所述推杆(15)的前端定装有锥塞(16)，所述锥塞(16)与缩颈孔(12)相互配合，所述推杆(15)的尾端与电磁环套(14)相互配合。
4.根据权利要求3所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述推杆(15)包括主滑杆(1501)，所述主滑杆(1501)的前端一体成型有嵌装端头(1502)，所述主滑杆(1501)的后端一体成型有限位盘(1503)，所述限位盘(1503)的后端一体成型有尾端芯杆(1504)，所述尾端芯杆(1504)的外周嵌套有若干永磁环(1505)。
5.根据权利要求3所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述伺服电机(8)与电磁环套(14)均电连接电气件(3)，所述主阀体(1)内开始有布线孔(18)，所述电气件(3)的连接缆线均置于布线孔(18)内。
6.根据权利要求3所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述外置腔(13)的腔口出嵌装有封闭盖(17)。
...【技术特征摘要】
1.一种具有统计通量的循环气调节阀，包括主阀体(1)、附件(2)与电气件(3)，其特征在于：所述主阀的左侧一体成型有第一进气接口(4)，所述主阀体(1)的右侧一体成型有出气接口(6)，所述主阀体(1)的后侧一体成型有第二进气接口(5)，所述第二进气接口(5)的底部主阀体(1)开设有缩颈孔(12)，所述出气接口(6)的底部主阀体(1)开始有内孔(11)，所述内孔(11)与缩颈孔(12)连通，所述附件(2)固定安装于主阀体(1)的下表面，所述附件(2)内开始有导流孔，且导流孔的两端连通第一进气接口(4)与出气接口(6)，所述电气件(3)固定安装于主阀体(1)的上表面，所述第一进气接口(4)内固定安装有第一气流量传感器(9)，所述第二进气接口(5)内固定安装有第二气流量传感器(10)，所述第一气流量传感器(9)与第二气流量传感器(10)均电连接电气件(3)。
2.根据权利要求1所述的一种具有统计通量的循环气调节阀，其特征在于：所述附件(2)内转到安装有阀芯(7)，所述阀芯(7)转动设于导流孔中部，所述主阀体(1)下表面固定安装有伺服电机(8)，所述伺服电机(8)的输出端与阀芯(7)固定连接。
3.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：童翔，杨猛，张成兵，刘振华，秦超，
申请(专利权)人：新疆其亚硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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