【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光器件，尤其涉及一种基于超材料与扫描振镜的光调制器及其制备方法。
技术介绍
1、超材料是由人工设计并制备的金属或非金属阵列。常见的超材料几何尺寸通常设计在微米以及亚微米量级，可以与可见光、红外线、太赫兹波等电磁波产生耦合，从而产生特殊的光学响应，例如负折射率、完美吸收、场增强等。
2、超材料在显示成像、生物传感、光学探测等领域具有重要作用。但目前对超材料的调控手段比较有限，目前主流的调控方法限制在被动调控，只能调整入射光参数或背景参数来使得所设计的超材料产生不同的光学响应，很大程度限制了超材料的应用前景。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术实施例的目的是提供一种基于超材料与扫描振镜的光调制器及其制备方法，实现对入射光的主动调控，扩展应用前景，便于批量生产。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种基于超材料与扫描振镜的光调制器，包括外框架、振镜、与所述外框架固定连接的若干个第一固定端梳指、与若干个所述第一固定端梳指对应匹配的若干个第一移动端梳指、与...
【技术保护点】
1.一种基于超材料与扫描振镜的光调制器，其特征在于，包括外框架、振镜、与所述外框架固定连接的若干个第一固定端梳指、与若干个所述第一固定端梳指对应匹配的若干个第一移动端梳指、与所述第一移动端梳指固定连接的内框架、与所述内框架固定连接的若干个第二固定端梳指、与若干个所述第二固定端梳指对应匹配的若干个第二移动端梳指、连接所述外框架与所述内框架的内弹簧、连接所述内框架和所述振镜的镜面弹簧，所述振镜的镜面设置有超材料结构，所述第二移动端梳指固定连接所述振镜。
2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，所述第一固定端梳指与所述第一移动端梳指交错排布。
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【技术特征摘要】
1.一种基于超材料与扫描振镜的光调制器，其特征在于，包括外框架、振镜、与所述外框架固定连接的若干个第一固定端梳指、与若干个所述第一固定端梳指对应匹配的若干个第一移动端梳指、与所述第一移动端梳指固定连接的内框架、与所述内框架固定连接的若干个第二固定端梳指、与若干个所述第二固定端梳指对应匹配的若干个第二移动端梳指、连接所述外框架与所述内框架的内弹簧、连接所述内框架和所述振镜的镜面弹簧，所述振镜的镜面设置有超材料结构，所述第二移动端梳指固定连接所述振镜。
2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，所述第一固定端梳指与所述第一移动端梳指交错排布。
3.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，所述第二固定端梳指与所述第二移动端梳指交错排布。
4.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，静态情况下，所述第一固定端梳指的方向与所述第二固定端梳指的方向相互垂直。
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