下载基于超材料与扫描振镜的光调制器及其制备方法的技术资料

文档序号:40083038

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本发明公开了一种基于超材料与扫描振镜的光调制器及其制备方法,光调制器包括外框架、振镜、与外框架固定连接的若干个第一固定端梳指、与若干个第一固定端梳指对应匹配的若干个第一移动端梳指、与第一移动端梳指固定连接的内框架、与内框架固定连接的若干个第...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。

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