【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶硅片加工，具体涉及一种单晶硅片磨削加工装置及其磨削加工方法。
技术介绍
1、单晶硅片是硅的单晶体，为一种具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，主要用于制造半导体器件、太阳能电池等。在生产太阳能电池片时，首先要将单晶生长炉生长的单晶硅棒切割成一定长度的短圆棒，然后再把短圆棒经过切方加工为方棒，方棒切成薄片后经磨削工序加工成四角为圆弧的成薄片，这些薄片经过后续处理后就成了单晶硅片。
2、现有技术cn214519310u，公开了一种单晶硅片边角磨削装置，包括旋转座、吸附座、工作面和磨削机构，所述吸附座安装在旋转座上，旋转座上设有旋转电机，旋转电机与吸附座底部连接，并可带动吸附座相对旋转座转动，所述吸附座的前侧设有前定位杆，吸附座的左侧设有左定位杆，所述左定位杆与前定位杆上下错位设置开，所述左定位杆与前定位杆均为l形的方形杆，l形的左定位杆与前定位杆的一端安装在吸附座内的两个安装孔内，且左定位杆与前定位杆安装在安装孔内的端部设有螺纹段，所述安装孔的上方设有导向滑槽，左定位杆与前定位杆上设有与导向滑槽向...
【技术保护点】
1.一种单晶硅片磨削加工装置，包含工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）下端的边缘处固连着若干支座（2），所述工作台（1）上端的边缘处固连着围板（3），所述工作台（1）的下端固连着电机一（4），所述电机一（4）的输出端穿过工作台（1）并固连着单晶硅片紧固件（5），所述单晶硅片紧固件（5）处在围板（3）的内侧，所述工作台（1）的下方安设着废料收集件（6），所述工作台（1）的上端安设着横向移动件（7），所述横向移动件（7）处在围板（3）的外侧，所述横向移动件（7）上安设着承载板（8），所述承载板（8）的上端安设着纵向移动件（9），所述纵向移动件（9）上安设着电机二（1...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片磨削加工装置，包含工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）下端的边缘处固连着若干支座（2），所述工作台（1）上端的边缘处固连着围板（3），所述工作台（1）的下端固连着电机一（4），所述电机一（4）的输出端穿过工作台（1）并固连着单晶硅片紧固件（5），所述单晶硅片紧固件（5）处在围板（3）的内侧，所述工作台（1）的下方安设着废料收集件（6），所述工作台（1）的上端安设着横向移动件（7），所述横向移动件（7）处在围板（3）的外侧，所述横向移动件（7）上安设着承载板（8），所述承载板（8）的上端安设着纵向移动件（9），所述纵向移动件（9）上安设着电机二（10），所述电机二（10）的输出端固连着砂轮（11）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片磨削加工装置，其特征在于：所述单晶硅片紧固件（5）包含安设在工作台（1）上方的装配台（51），所述装配台（51）上预留着活动口（5102），所述活动口（5102）的纵向两壁面上预留着引导口二（5103），所述装配台（51）上还预留着嵌接口（5104），所述嵌接口（5104）的里周壁上固连着引导片（5101），所述装配台（51）的上方安设着紧固台（53），所述紧固台（53）接近装配台（51）的一壁面上安设着嵌接棒（531），所述嵌接棒（531）的外周壁上预留着引导口一（532），所述引导片（5101）滑动安设在引导口一（532）中，所述紧固台（53）的上方安设着紧固片（511），所述紧固片（511）的上壁面上安设着直线推杆（513），所述直线推杆（513）的输出端和紧固片（511）上壁面固连，所述嵌接棒（531）距紧固台（53）较远的一头安设着用来约束嵌接棒（531）移出装配台（51）的约束片（533），所述嵌接棒（531）的外表面上箍接着螺旋状铍铜丝三（510），所述螺旋状铍铜丝三（510）的两头各自和紧固台（53）与装配台（51）相连；
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片磨削加工装置，其特征在于：所述变动片（58）与定位片（523）间安设着能调整定位片（523）和活动片（57）间距离的调整止位模块；
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片磨削加工装置，其特征在于：所述紧固片（511）与紧固台（53）面对面的一壁面上各自安设着橡...
【专利技术属性】
技术研发人员：万邓华，
申请(专利权)人：内蒙古兴固科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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