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本发明提供一种单晶硅片磨削加工装置及其磨削加工方法，属于单晶硅片加工技术领域，包含工作台，所述工作台下端的边缘处固连着若干支座，所述电机一的输出端穿过工作台并固连着单晶硅片紧固件，所述工作台的下方安设着废料收集件，所述工作台的上端安设着横向...
该专利属于内蒙古兴固科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古兴固科技有限公司授权不得商用。

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