【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于石英加工设备，尤其涉及一种石英管/棒类产品的直径测量装置及测量方法。
技术介绍
1、当前半导体行业正在经历一个前所未有的高速发展阶段，这其中石英部件作为关键的零部件在半导体装备中扮演着重要的角色。随着半导体技术的不断进步和应用领域的不断扩展，对于石英部件的需求量也在逐年增加。
2、然而，当前对于石英管/棒类的测量方法主要依靠人工使用游标卡尺进行，这种方法不仅测量数据的准确性不能得到保证，而且测量效率也相对较低。在测量过程中，操作者的手抖动、视觉误差、经验不足等因素都可能导致测量结果的不准确。此外，这种测量方法还可能因为操作不当而导致产品损坏，进一步影响了生产效率和成本。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英管/棒类产品的直径测量装置及测量方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，提供如下技术方案：一种石英管/棒类产品的直径测量装置，包括：
3、机架；
4、支撑侧板，倾斜设置于所述机架上，所述支撑侧板有两块并对称分布于所述机架上；两所述支撑侧板用于共同支撑石英管/棒，并使石英管/棒处于水平状态；
5、以及线位移传感器，设置于所述机架上，且位于两所述支撑侧板之间的正中间位置，在石英管/棒放置于两支撑侧板上后，所述线位移传感器的测量端向下移动一定距离；
6、其中，设定待检测的石英管/棒的直径为d，半径为r，两支撑侧板之间的夹角为θ，线位移传感器在未受到压力时的量程为l，线
7、根据正弦定理可得
8、即可计算出半径r，以及直径d。
9、在上述技术方案中，进一步的，还包括：
10、处理单元，根据线位移传感器所检测到的信息，计算出半径r以及直径d，并将所计算的数值发送至显示单元；
11、显示单元，用于显示所检测的石英管/棒的半径r，以及直径d。
12、在上述任一技术方案中，进一步的，两所述支撑侧板的下端转动设置于所述机架上，以调节θ的大小。
13、在上述任一技术方案中，进一步的，还包括：
14、轴，设置于所述机架上，两所述支撑侧板的下端均转动设置于所述轴上；
15、以及顶板，具有两块，并分别位于两所述支撑侧板的两侧，用于支撑两所述支撑侧板；
16、其中，两所述顶板均沿垂直于轴的方向滑动设置。
17、在上述任一技术方案中，进一步的，还包括：
18、角度传感器，用于检测两所述支撑侧板之间的夹角θ。
19、在上述任一技术方案中，进一步的，还包括：
20、驱动组件，用于同时驱动两所述支撑板相互靠近或相互远离，使两所述支撑侧板与水平面之间的夹角一致。
21、在上述任一技术方案中，进一步的，所述驱动组件包括：
22、丝杆，所述丝杆沿其长度方向具有两个相反的螺纹段；
23、其中，两所述顶板分别分别设置于所述丝杆的两个螺纹段上；
24、驱动所述丝杆转动，所述丝杆带动两所述顶板相互靠近或者是相互远离，进而调节两支撑侧板之间的夹角θ。
25、在上述任一技术方案中，进一步的，所述驱动组件还包括：驱动部，用于驱动所述丝杆转动；
26、所述驱动部为手动驱动所述丝杆转动的手柄结构；
27、或者是自动驱动所述丝杆转动的电机。
28、另一方面，还提供一种石英管/棒类产品的直径测量装置的测量方法，测量方法步骤如下：
29、步骤一、将石英管/棒放置于两支撑侧板之间；
30、步骤二、转动石英管/棒，以及使石英管/棒沿其长度方向进行移动，通过所述线位移传感器所检测到的不同的下压量程h，在hmax以及hmin处于正常范围值时，表明该石英管/棒合格，否则不合格；
31、步骤三、对于合格的石英管/棒，调整两支撑板之间的夹角θ，在不同夹角θ下，根据线位移传感器所检测到的不同的下压量程h，处理单元计算出不同数值的半径r，以及直径d，后求平均值，即可测量出准确的石英管/棒的直径。
32、在本专利技术的有益效果是：本测量装置结构简单、操作方便、精度高、稳定性好、测量范围广、测量速度快、测量结果准确可靠等优点。
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1.一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，两所述支撑侧板(200)的下端转动设置于所述机架(100)上，以调节θ的大小。
4.根据权利要求3所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求4所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，所述驱动组件(800)包括：
8.根据权利要求7所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，所述驱动组件(800)还包括：驱动部(820)，用于驱动所述丝杆(810)转动；
9.一种用于权利要求3-8任一项所述的石英管/棒类产品的直径测量装置的测量方法，其特征在于，测量方法步
...【技术特征摘要】
1.一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，两所述支撑侧板(200)的下端转动设置于所述机架(100)上，以调节θ的大小。
4.根据权利要求3所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英管/棒类产品的直径测量装置，其特征在于，还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛熙毓，陈江震，黄书君，吴沭沁，杨军，
申请(专利权)人：浙江富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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