【技术实现步骤摘要】
本申请属于石英大板加工，尤其涉及一种石英大板的加工工艺。
技术介绍
1、半导体石英外延类大板是半导体加工行业中，外延工艺必须具备的常用石英耗材，随着半导体行业快速发展，需求量增长速度非常快。传统的半导体石英外延类大板的加工技术，都是分多步骤，累积拼凑而成，加工步骤繁多，加工平面度差，制品开裂率很高，一次合格率和产能低，不能满足目前半导体加工行业石英外延类大板的需求量大的现状。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种石英大板的加工工艺，能够解决上述问题。
2、本申请的目的是提供一种石英大板的加工工艺，包括以下步骤：
3、s1、下料，对板1和板2进行优化下料；
4、s2、平磨，将板1和板2平磨；
5、s4、激光加工，对板1和板2进行激光加工；
6、s5、对板1mc之后将板1以及板2精烧；
7、s6、压平面度，将板1和板2的表面压平，获得新的平面度；
8、s7、初步焊接，将板1和板2组立焊接、研磨并压平面度；
9、s8、再次焊接，将焊接之后的板1和板2进行侧板组立焊接，将侧板与板1、板2焊接；
10、s9、最终品精烧，通过抛光设备对石英表面进行火焰抛光，使石英制品表面达到镜面状态；
11、s10、洗净，通过洗净确保制品满足洁净度，得到石英大板。
12、采用上述的一种石英大板的加工工艺，简化了加工步骤，提升一次合格率和产能，同时，通过半导体石英外延类大板优化
13、在本申请中，s1可以优化成本控制并提高石英利用率；s2可以提高下料精准度加工，一次精磨到位，提高加工效率；s2可以提高加工件的尺寸精度；s6则可以确保套料加工合格，进行套料组立焊接，控制不良产生；s8利用优化分段控制法，提升工程品合格率和加工效率；s10则可以确保制品满足洁净度，满足半导体加工用的石英制品的要求，洗净之后需要通过检测才能成品入库，且在s9步骤之前需要通过一次工程洗净，在s10的洗净之前则还需要最后压一次平面度，本申请的优化工艺能批量高效的提升加工质量，生产美观的半导体石英外延大板。
14、进一步的，所述抛光设备包括：
15、底座，底座上设置有滑轨；
16、夹持机构，用于夹持石英大板并能够带着石英大板沿着滑轨移动；
17、火焰喷枪，设置于底座上并用于对石英大板进行火焰抛光，且火焰喷枪的底部设置有能够上下移动的支撑座；
18、驱动机构，其用于驱动夹持机构在滑轨上移动；
19、控制装置，所述控制装置、夹持装置、火焰喷枪以及驱动机构连接；
20、其中，驱动机构带动石英大板移动过程中火焰喷枪喷出火焰对石英大板进行抛光。
21、这里的抛光设备为通过火焰径向抛光的设备，通过火焰对石英进行抛光，使其的表面达到镜面状态，在进行抛光时，通过相应的运输设备，如夹爪、运输带等，将石英大板运输至底座上，通过夹持机构将石英大板夹紧，夹紧完成后通过驱动机构带动夹持机构沿着滑轨移动，在移动过程中火焰喷枪开启并对石英大板进行火焰抛光，这里的火焰喷枪设置有两组，在夹持机构的两侧均有设置，可以对石英大板的一侧或者两侧进行抛光，同时为了能够使石英的表面全部受到加工，在火焰喷枪的底部设置支撑座，支撑座可以上下移动，从而扩大了抛光范围。
22、进一步的：所述夹持机构包括：
23、滑动座，设置于滑轨上并与滑轨配合，滑动座上设置有凹槽；
24、放置座，设置于凹槽上并用于放置石英大板；
25、夹板，设置于凹槽内并位于凹槽的两侧；
26、驱动器，设置于滑动座上并用于驱动夹板移动；
27、其中，当滑动座带动石英大板移动时，火焰喷枪通过凹槽对石英大板的两侧进行火焰抛光。
28、夹持机构主要用于将加工用的石英大板夹紧，防止其晃动或者掉落，在进行固定时，将石英大板放置到凹槽内，之后开启驱动器，驱动器带动夹板移动并将石英大板夹紧，其中，通过在凹槽上设置放置座，石英大板在固定时与放置座接触。
29、进一步的，所述放置板上设置有调节装置，所述调节装置包括：
30、连杆，设置于滑动座上并与驱动机构连接；
31、调节槽，设置于滑动座内并位于放置座的下方；
32、滑块，设置于调节槽内并能够在调节槽内上下滑动，且滑块顶部设置有贯穿至调节槽的多个滑动杆，滑动杆的另一端与放置座连接；
33、腔室，设置于滑块内部，腔室内设置有内板体，内板体的两侧均设置有内弹簧；
34、外板体，设置于调节槽内并位于滑块下方，外板体的顶部设置有多根长杆，长杆远离外板体的一端与内板体连接；
35、接触组件，包括设置于外板体底部的第一接触块以及设置于调节槽底部的第二接触块；
36、其中，第一接触块与第二接触块与控制装置连接。
37、由于每块石英大板都具有重量，而不同的石英大板则会有不同的重量，不同的重量则需要不同的力进行推送，推力太小会导致无法推送适应大板，推力太大则会导致石英大板的位置错位，影响后续的抛光工作，本申请通过设置调节装置，可以对驱动器的推力进行调节，使其能够实时配合使石英石板中重量的变化，将石英石板放置到放置座上后，放置座受压下沉并通过滑动杆带动滑块在调节槽内下移，滑动杆与调节槽之间通过直线轴承连接，从而降低摩擦力，而滑块的移动则会带动内板体一起移动，而内板体则会通过长杆体带动外板体下移，直至外板体底部的第一接触块与第二接触块接触，此时控制装置对驱动器的调节功能才会开启，在本申请中，无论放置到放置板上的石英石板有多重，第一接触块与第二接触块均会接触。
38、同时，通过在内板体的两侧设置有内弹簧，可以使滑块在第一接触块与第二接触块接触后继续移动，不会受内板体、外板体的影响。
39、进一步的，所述调节装置还包括：
40、外弹簧，设置于调节槽内，外弹簧的两端分别与滑块以及调节槽的底部接触；
41、连接块，设置于滑块的侧壁上，调节槽的内壁上设置有供连接块滑动的接触槽，且连接块上设置有接触头；
42、收纳槽，设置于调节槽的内壁上并与接触槽连通，收纳槽内设置有立柱，立柱上缠绕有电阻丝；
43、其中，电阻丝与接触头接触。
44、外弹簧的设置具有多重作用，即可以配合内弹簧对滑块的移动进行支撑、缓冲，防止滑块受压下移过快，还可以提高滑块的支持效果，同时，还用于滑块的复位，当石英石板离开放置座后，外弹簧就会辅助滑块复位，等待下一次的工作。
45、为了能够精确的对推力进行调节，本申请还设置了连本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种石英大板的加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述抛光设备包括：
3.根据权利要求2所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述夹持机构(200)包括：
4.根据权利要求3所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述放置板上设置有调节装置(500)，所述调节装置(500)包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述调节装置(500)还包括：
6.根据权利要求5所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述滑动座(210)与滑轨(110)之间设置有滑动稳定装置(600)，所述滑动稳定装置(600)包括：
7.根据权利要求6所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述滑动稳定装置(600)还包括：
8.根据权利要求7所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：还包括以下加工步骤：
【技术特征摘要】
1.一种石英大板的加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述抛光设备包括：
3.根据权利要求2所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述夹持机构(200)包括：
4.根据权利要求3所述的一种石英大板的加工工艺，其特征在于：所述放置板上设置有调节装置(500)，所述调节装置(500)包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英大...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟祥，邓云峰，杨军，郑明山，魏丽升，
申请(专利权)人：浙江富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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