一种多晶硅还原炉制造技术

本技术公开了一种多晶硅还原炉，属于多晶硅还原炉技术领域，包括支撑架，支撑架上方有还原炉，还原炉底部配套有底盘，底盘上方设置有便于拆卸更换电极棒的连接机构。本技术通过连接机构，将电极棒底端分别卡入至底盘上方对应的凹槽内，弹片弹入至对应的凹陷内，即可完成对电极棒的安装，通过向下按压压杆，限位块随着压杆下移，限位块推动连接杆向凹陷一侧移动，连接杆顶着弹片脱离凹陷，进而顺利将硅棒从底盘上方卸除，使用更加便捷，两个底盘交替工作，可以留出足够的时间供工作人员对底盘上方的硅棒进行拆卸，且还原炉可以连续工作，使得工作效率更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅还原炉，具体为一种多晶硅还原炉。

技术介绍

1、多晶硅，是单质硅的一种形态，多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备，通过向还原炉内部通入三氯氢硅和高纯度氢气，在高温作用下还原生成高纯度硅附着在电极棒上形成硅棒，实现多晶硅还原的目的。

2、其中，经检索发现，有一篇申请号为cn202123072376.8，公开了多晶硅还原炉，包括底盘、钟罩、电极和硅芯，钟罩罩设在底盘上形成容纳腔室，具有电极通过绝缘部件与底盘绝缘，第一硅芯通过绝缘构件与底盘绝缘，由于两个第二硅芯的上端分别通过第一横梁与其中一个第一硅芯的连接并能够实现导电，相邻两个第一硅芯的下端均通过第二横梁连接并能够实现导电，以使得偶数个硅芯能够构成一个电流回路，则通过向电极通电即可实现对所有硅芯进行加热。由于本申请实施例的多晶硅还原炉中只需设置两个电极就能实现所有硅芯的加热，电极的数量较少，则相较于电极数量较多的设计方案，电极在底盘所占的空间较小，则电极周围的绝缘部件被击穿的几率较小，从而能够减小因电极周围的绝缘部件被击穿后而导致的停炉情况的发生几率的优点。

3、但是经过研究发现：该装置不便于对底盘上方生成的硅棒进行拆卸更换新的电极棒，使用不够便捷，且还原反应完成后，需要等待将底盘上方的硅棒卸除，更换上新的电极棒后才可再次进行还原反应，使得还原炉使用不够连续，工作效率不够高，因此提供一种新型装置解决该问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：为了解决上述使用不够便捷，工作效率不够高的问题，提供一种多晶硅还原炉。

2、本技术采用的技术方案如下：一种多晶硅还原炉，包括支撑架，所述支撑架上方有还原炉，所述还原炉底部配套有底盘；

3、所述底盘上方设置有便于拆卸更换电极棒的连接机构。

4、其中，所述连接机构包括空腔、限位块、压杆、连接杆、电极棒和弹片，所述底盘上方通过凹槽嵌入活动连接有电极棒，所述电极棒底端一侧弹性连接有弹片，且凹槽内部嵌入设置有与弹片契合的凹陷，所述底盘内部设置有空腔，所述底盘上方通过通槽弹性连接有压杆，所述压杆末端延伸至空腔内部并固定安装有限位块，所述空腔内部一侧通过通孔弹性连接有连接杆，且连接杆一端与限位块底部一侧接触，且连接杆另一端延伸至凹陷内部。

5、其中，所述支撑架上方两侧通过伺服电机a对称转动连接有丝杆a，所述支撑架上方两侧对称固定安装有导向杆a，且还原炉嵌套滑动连接于丝杆a和导向杆a外部，且丝杆a与还原炉螺纹连接，所述支撑架上方两侧对称安装有卷扬机，且两个卷扬机配套钢丝绳卷起始端分别连接于还原炉两侧。

6、其中，所述底盘数量为两个，所述支撑架中部嵌入设置有凹槽，所述凹槽内部通过伺服电机b转动连接有丝杆b，所述凹槽内部固定安装有导向杆b，所述导向杆b和丝杆b外部共同嵌套滑动连接有支撑板，且两个底盘分别安装于支撑板上方两侧，所述支撑板底部对称转动连接有滚轮。

7、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：

8、1、本技术中，通过连接机构，将电极棒底端分别卡入至底盘上方对应的凹槽内，弹片弹入至对应的凹陷内，即可完成对电极棒的安装，通过向下按压压杆，限位块随着压杆下移，限位块推动连接杆向凹陷一侧移动，连接杆顶着弹片脱离凹陷，进而顺利将硅棒从底盘上方卸除，使用更加便捷。

9、2、本技术中，两个底盘交替工作，可以留出足够的时间供工作人员对底盘上方的硅棒进行拆卸，且还原炉可以连续工作，使得工作效率更高。

10、3、本技术中，伺服电机a带动丝杆a转动，进而带动还原炉沿着导向杆a升降，卷扬机在其配套力矩电机的作用下同时带动钢丝绳卷做收卷放卷工作，钢丝绳为还原炉提供了一个向上的拉力，使得还原炉升降更加稳定，使用安全性更高。

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【技术保护点】

1.一种多晶硅还原炉，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）上方有还原炉（2），所述还原炉（2）底部配套有底盘（201）；

2.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑架（1）上方两侧通过伺服电机A（1011）对称转动连接有丝杆A（101），所述支撑架（1）上方两侧对称固定安装有导向杆A（1012），且还原炉（2）嵌套滑动连接于丝杆A（101）和导向杆A（1012）外部，且丝杆A（101）与还原炉（2）螺纹连接。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑架（1）上方两侧对称安装有卷扬机（102），且两个卷扬机（102）配套钢丝绳卷起始端分别连接于还原炉（2）两侧。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述底盘（201）数量为两个。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑架（1）中部嵌入设置有凹槽（103），所述凹槽（103）内部通过伺服电机B（1042）转动连接有丝杆B（1041），所述凹槽（103）内部固定安装有导向杆B（1043），所述导向杆B（1043）和丝杆B（1041）外部共同嵌套滑动连接有支撑板（104），且两个底盘（201）分别安装于支撑板（104）上方两侧。

6.如权利要求5所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑板（104）底部对称转动连接有滚轮（1044）。

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【技术特征摘要】

1.一种多晶硅还原炉，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）上方有还原炉（2），所述还原炉（2）底部配套有底盘（201）；

2.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑架（1）上方两侧通过伺服电机a（1011）对称转动连接有丝杆a（101），所述支撑架（1）上方两侧对称固定安装有导向杆a（1012），且还原炉（2）嵌套滑动连接于丝杆a（101）和导向杆a（1012）外部，且丝杆a（101）与还原炉（2）螺纹连接。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述支撑架（1）上方两侧对称安装有卷扬机（102），且两个卷扬机（102）配套钢丝绳卷起始端分别连接于...

【专利技术属性】
技术研发人员：严循成，
申请(专利权)人：江苏福旭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：