触控装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种触控装置的制造方法，此方法可增进触控装置中感测电极的透光性与导电性，以及减少制程步骤。在一实施例中，此方法包含以下步骤。形成第一图案化透明导电层于一基板上。对该第一图案化透明导电层进行第一回火制程。依序形成绝缘层与图案化半调式光阻于该基板与该第一图案化透明导电层上。以该图案化半调式光阻作为蚀刻遮罩来蚀刻该绝缘层，以形成图案化绝缘层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种。
技术介绍
随着科技的快速发展，信息产品的功能越来越多样化，其应用面也触及了人们日 常生活各个领域。早期的信息产品多半是以键盘、鼠标之类的输入装置，作为人机沟通的界 面；但为了提供使用者更便利且更人性化的使用经验，许多信息产品逐渐采用触控装置作 为主要的输入装置。目前的触控装置通常是利用外加至或内建于显示面板中的触控面板，以达到触控 输入信息和/或操作的目的。触控面板依其触控感应原理的不同，至少可分为电容式、电阻 式、光学式与音波式等不同类型。图1绘示了一种习知触控面板的一部分的俯视图。如图1所示，习知的触控面板 160包括基板100、多个第一导电区105绝缘层130以及与多个第二导电区115。上述第一 个导电区105与第二导电区115皆配置于基板100上，其中该多个第一个导电区105彼此 透过第一导线110而电性连接；而该多个第二个导电区115彼此则是透过第二导线120而 电性连接。绝缘层130设置于第一导线110与第二导线120之间。根据习知技术，为了使第一导电区105之间存在良好的导电性，第一导线110采用 金属材料所制成。然而，由于金属材料的遮旋光性较强，使用者在检视屏幕时，往往会察觉 到这些金属导线的存在，而大大地影响了使用者观看屏幕的舒适度与满意度。因此，如何降低触控装置中金属导线的可见性，以提升触控装置的显示品质，实为 当前触控装置生产技术上亟待克服的课题。
技术实现思路

技术实现思路
旨在提供本揭示内容的简化摘要，以使阅读者对本揭示内容具备基本的 理解。此
技术实现思路
并非本揭示内容的完整概述，且其用意并非在指出本专利技术实施例的重要 /关键元件或界定本专利技术的范围。本专利技术的一态样是有关于一种，此一方法可有效降低触控装 置中金属导线的可见性，以提供较佳的显示品质。依据本专利技术一实施例，上述制造方法包含以下步骤。形成第一图案化透明导电 层于基板上；上述第一图案化透明导电层可用以形成第一导线与衬垫，其中第一图案化透 明导电层包含非晶型透明导电材料。对上述第一图案化透明导电层进行第一回火制程， 以将该非晶型透明导电材料改质为多晶透明导电材料。依序形成绝缘层与图案化半调式 (halftone)光阻于该基板与该第一图案化透明导电层上，其中该图案化半调式光阻位于该 第一导线上方。以上述图案化半调式光阻作为一蚀刻遮罩来蚀刻绝缘层，以形成图案化绝 缘层。进行电浆灰化制程，以部分移除该图案化半调式光阻并露出该图案化绝缘层的一部 分。形成透明导电层于该第一图案化透明导电层、该图案化半调式光阻与该图案化绝缘层上。移除该图案化半调式光阻以及其上的透明导电层，以使得该透明导电层形成第二图案 化透明导电层，该第二图案化透明导电层用以形成多个第一导电区、多个第二导电区与一 第二导线，其中该多个第一导电区彼此以该第一导线电性连接且该多个第二导电区彼此以 该第二导线电性连接。依据本专利技术一任选的实施例，上述方法还包含形成图案化保护层于该基板上以露 出该衬垫。依据本专利技术又一任选实施例，上述方法还包含对该第二图案化透明导电层进行第 二回火制程。依据本专利技术实施例，上述方法中所采用的第一图案化透明导电层或第二图案化透 明导电层分别包含一非晶型的透明导电材料，此一透明导电材料可为铟锡氧化物、铟锌氧 化物、铟锡锌氧化物、氧化铪、铝锡氧化物、铝锌氧化物、镉锡氧化物或镉锌氧化物。依据本专利技术实施例，上述方法中用以移除图案化半调式光阻以及其上的透明导电 层的步骤是利用剥离(lift-off)制程或研磨制程。本专利技术的另一态样是有关于一种，此一方法可有效降低触控 装置中金属导线的可见性，以提供较佳的显示品质。依据本专利技术一实施例，上述制造方法包含以下步骤。形成第一图案化透明导电层 于基板上；上述第一图案化透明导电层用以形成一第一导线与一衬垫，其中第一图案化透 明导电层包含一非晶型透明导电材料。对该第一图案化透明导电层进行第一回火制程，以 将该非晶型透明导电材料改质为多晶透明导电材料。依序形成绝缘层与图案化光阻于该基 板与该第一图案化透明导电上，其中该图案化光阻位于该第一导线上方。以该图案化光阻 作为蚀刻遮罩来蚀刻该绝缘层，以形成图案化绝缘层。移除该图案化光阻以露出该图案化 绝缘层。形成第二图案化透明导电层于部分该第一图案化透明导电层与部分该图案化绝缘 层上，该第二图案化透明导电层用以形成多个第一导电区、多个第二导电区与一第二导线， 其中该多个第一导电区彼此以该第一导线电性连接且该多个第二导电区彼此以该第二导 线电性连接。依据本专利技术一任选的实施例，上述方法还包含形成图案化保护层于该基板上以露 出该衬垫。依据本专利技术又一任选实施例，上述方法还包含对该第二图案化透明导电层进行第 二回火制程。依据本专利技术实施例，上述方法中所采用的第一图案化透明导电层或第二图案化透 明导电层分别包含一非晶型的透明导电材料，此一透明导电材料可为铟锡氧化物、铟锌氧 化物、铟锡锌氧化物、氧化铪、铝锡氧化物、铝锌氧化物、镉锡氧化物或镉锌氧化物。由此可知，利用本专利技术所提出的技术方案来制作触控装置，至少具有下述有益效^ o首先，此处提出的技术方案利用透明导电材料来形成第一导线，因而可以避免先 前技术采用金属导线而导致使用者观看时察觉到金属导线存在的缺失。此外，以上技术方案针对用以形成第一导线的透明导电材料进行了回火制程，将 原本的非晶型透明导电材料改质为多晶透明导电材料，以进一步提升第一导线的导电性与 透光性。综上所述，此处提出的技术方案在改善显示品质之外，更兼顾了触控元件的触控灵敏度。另外，当制程中使用图案化半调式光阻时，其可作为第二透明导电层的沉积遮罩， 此一技术方案相较于习知技术更省下了一道光罩，不但降低了制程的复杂性，更可降低触 控装置的制造成本。在参阅下文实施方式后，本专利技术所属
中的普通技术人员当可轻易了解本 专利技术的基本精神及其它专利技术目的，以及本专利技术所采用的技术手段与实施态样。附图说明为让本专利技术的上述与其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说 明如下图1为一种习知触控面板的一部分的俯视图；图2绘示了根据本专利技术一态样提出的方法所制得的触控装置的俯视图；图3A至31为制程示意图，其中所示的结构是沿着图2所示的A_A剖面线所得；图3J绘示沿着图2所示的B-B剖面线所得的结构；图4绘示了根据本专利技术另一态样提出的方法所制得的触控装置的俯视图；图5A至5H为制程示意图，其中所示的结构是沿着图4所示的A_A剖面线所得；以 及图51绘示沿着图4所示的B-B剖面线所得的结构。 具体实施例方式为了使本揭示内容的叙述更加详尽与完备，下文针对了本专利技术的实施态样与具体 实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本专利技术具体实施例的唯一形式。实施方 式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其 顺序。然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。图2绘示根据本专利技术一态样提出的方法所制得的触控装置260的俯视图。如图2 所示，触控装置260至少包含基板200、设置于基板200上的多个第一导电区244与多个第 二导电区246，以及绝缘层220’。该多个第一导电区244彼此间透过第一导线(如图3B所 示的第一导线202’ )电性连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触控装置的制造方法，其特征在于，至少包含以下步骤：形成一第一图案化透明导电层于一基板上，该第一图案化透明导电层用以形成一第一导线与一衬垫，其中该第一图案化透明导电层包含一非晶型透明导电材料；对该第一图案化透明导电层进行一第一回火制程，以将该非晶型透明导电材料改质为一多晶透明导电材料；依序形成一绝缘层与一图案化半调式光阻于该基板与该第一图案化透明导电层上，其中该图案化半调式光阻位于该第一导线上方；以该图案化半调式光阻作为一蚀刻遮罩来蚀刻该绝缘层，以形成一图案化绝缘层；进行一电浆灰化制程，以部分移除该图案化半调式光阻并露出该图案化绝缘层的一部分；形成一透明导电层于该第一图案化透明导电层、该图案化半调式光阻与该图案化绝缘层上；以及移除该图案化半调式光阻以及其上的透明导电层，以使得该透明导电层形成一第二图案化透明导电层，该第二图案化透明导电层用以形成多个第一导电区、多个第二导电区与一第二导线，其中该多个第一导电区彼此以该第一导线电性连接且该多个第二导电区彼此以该第二导线电性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖金阅，詹立雄，曾贤楷，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]