【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多面样品台，尤其涉及一种用于团簇束流沉积的多面样品台。
技术介绍
1、近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。在飞行过程中对适合加工的团簇进行沉积，进行多次相同实验条件下不同实验结果的团簇沉积台。
2、但是在相同实物理条件下不便于对多个样品载具安装到样品台上，使得难以制作出多种样品，并且不便于对往四面衬底施加更高的高压，达到更高效的实验要求。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种用于团簇束流沉积的多面样品台，以解决同时将多个样品载具放置在样品台本体上，使得可以在相同实物理条件下制作出多种样品，并可以往四面衬底施加更高的高压，达到更高效的实验要求的问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种用于团簇束流沉积的多面样品台，包括：样品台本体，所述样品台本体上开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有绝缘垫，所述绝缘垫的内部安装有可转动的机械杆，所述机械杆的底部安装有固定块，所述固定块安装在所述绝缘垫内，所述样品台本体的外周侧开设有多个凹槽，所述凹槽用于所述凹槽的两侧安装有夹片，所述夹片部分延伸至所述凹槽上方，并用于固定样品载具。
3、进一步的，所述样品台本体的四个拐角处开设有卡槽，所述卡槽上安装有挡板，所述挡板为不
4、进一步的，所述样品台本体四个面长与宽为34mm，高16mm。
5、进一步的，所述凹槽的两侧开设有第二螺孔，通过螺栓将夹片固定在对应第二螺孔位置，所述凹槽长为18mm，宽为13mm，深度1mm。
6、进一步的，所述绝缘垫为聚四氟乙烯材料或者陶瓷材料。
7、进一步的，所述挡板长度为18mm，宽度为6mm，厚度为1mm的不锈钢材质。
8、本技术的有益效果是：
9、通过在样品台本体的外周侧开设有四个凹槽，并在凹槽的两侧安装夹片，使用时将样品载具分别放入4个凹槽中，利用夹片放置样品载具脱离凹槽，可同时安装四组样品载具，且安装方式简单便捷，在其中一个样品台本体沉积，沉积完成后将样品台本体旋转45°沉积另外一个入射束流例如金99尺寸的团簇，可以在相同实验参数相同实验条件下制造4种不同尺寸的团簇样品，从而提高了效率，也可以保证在相同实验条件下制造出样品的稳定性。
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1.一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，包括：样品台本体(1)，所述样品台本体(1)上开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的内部安装有绝缘垫(3)，所述绝缘垫(3)的内部安装有可转动的机械杆(4)，所述机械杆(4)的底部安装有固定块(41)，所述固定块(41)安装在所述绝缘垫(3)内，所述样品台本体(1)的外周侧开设有多个凹槽(11)，所述凹槽(11)用于所述凹槽(11)的两侧安装有夹片(12)，所述夹片(12)部分延伸至所述凹槽(11)上方，并用于固定样品载具(16)。
2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，
5.如权利要求4所述的一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，
6.如权利要求5所述的一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种用于团簇束流沉积的多面样品台，其特征在于，包括：样品台本体(1)，所述样品台本体(1)上开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的内部安装有绝缘垫(3)，所述绝缘垫(3)的内部安装有可转动的机械杆(4)，所述机械杆(4)的底部安装有固定块(41)，所述固定块(41)安装在所述绝缘垫(3)内，所述样品台本体(1)的外周侧开设有多个凹槽(11)，所述凹槽(11)用于所述凹槽(11)的两侧安装有夹片(12)，所述夹片(12)部分延伸至所述凹槽(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋凤麒，曹路，贝茂阳，
申请(专利权)人：江苏集创原子团簇科技研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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