【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子化装置，尤其涉及一种用于团簇束流源的离子化装置。
技术介绍
1、近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。
2、其中在气体团簇生成过后一般是由电子或者光子来电离的，电子从热钨丝发射，并在灯丝和圆柱阳极之间施加电压加速。团簇穿过圆柱形阳极，被电子轰击电离，但是这种方式释放电子效率较低，难以更高效的由钨丝释放大量电子，使气体团簇带电从而形成离子束。
3、因此设计一种用于团簇束流源的离子化装置，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种用于团簇束流源的离子化装置，以解决上述难以更高效的由钨丝释放大量电子，使气体团簇带电从而形成离子束问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种用于团簇束流源的离子化装置，包括：
3、网状筒体，所述网状筒体筒壁由若干个长条孔形成的镂空状；
4、固定组件，所述固定组件套设在所述网状筒体两端，所述固定组件与所述网状筒体不接触，所述固定组件的外表面开设有若干个第一螺孔，所述第一螺孔的内部安装有第一螺栓，所述第一螺栓用于固定两个固定组件之间的钨丝；
5、底座，所述底座的中间开设有圆孔，所述圆孔的外周侧开设有若干个第二螺孔，所述底座的外
6、进一步的，所述网状筒体和所述固定组件的两端开设有第四螺孔，所述第二螺栓穿过第二螺孔与第三螺孔后固定在对应的第四螺孔内，将所述底座固定在所述网状筒体与固定组件两侧。
7、进一步的，所述网状筒体的直径为40mm，高度为69mm，且为不锈钢材质。
8、进一步的，所述钨丝线径为0.3mm，所述钨丝与网状筒体不接触。
9、进一步的，所述底座的长度与宽度为51mm，厚度为6mm，并且为陶瓷材质，四周做圆角处理。
10、进一步的，所述圆孔直径为30mm，所述第四螺孔为沉头2.6mm，直径为3.5mm的通孔。
11、本技术的有益效果是：
12、通过将钨丝与固定组件分别接上5v电压，产生30a电流，电流经过钨丝使钨丝发光发热产生电子，气体分子经过钨丝发生离化，使团簇粒子带正电荷，在气体团簇生成过后一般是由电子或者光子来电离的。电子从热钨丝发射，并被钨丝施加电压加速，可更高效的由钨丝释放大量电子，使气体团簇带电从而形成离子束。当给网状圆柱体加上100v负电压，带正电荷的团簇粒子可以被吸引并从中间的镂空矩形处穿过，并形成离子束流。
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1.一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
5.如权利要求4所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
6.如权利要求5所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流源的离子化装置，其特征在于，
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【专利技术属性】
技术研发人员：宋凤麒，曹路，贝茂阳，
申请(专利权)人：江苏集创原子团簇科技研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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