一种用于团簇束流源的偏转器制造技术

本技术涉及偏转器技术领域，具体为一种用于团簇束流源的偏转器，包括：多个电极板，所述电极板具有底板和固定在底板两侧且向外倾斜的两侧板，所述底板上固定有电极本体，所述电极本体为扇形半圆柱体；多个连接板，所述连接板的中间开设有长条孔，所述连接板固定在两个电极板上的底板处，多个底板和连接板拼接成多边形。本技术提供了通过设置四个电极本体，并对对各个电极本体加以不同的电压，可以使穿过该转向器的离子束流偏转，偏转角度为90度，偏转方向为3个方向，当对四个电极本体上同时加上相同电压，离子束流不发生偏转，平行射出，当对两个对角电极本体是假相同电压，离子束流向下偏转90度射出，达到离子束流偏转方向的控制，更好的利用束流偏转后，对液态样品进行团簇沉积。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及偏转器，尤其涉及一种用于团簇束流源的偏转器。

技术介绍

1、近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。现有技术中通常不方便对加工的团簇进行转向，影响后续的液态样品进行团簇沉积。

2、因此设计一种用于团簇束流源的偏转器，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种用于团簇束流源的偏转器，以解决上述难以对团簇进行转向的问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种用于团簇束流源的偏转器，包括：

3、多个电极板，所述电极板具有底板和固定在底板两侧且向外倾斜的两侧板，所述底板上固定有电极本体，所述电极本体为扇形半圆柱体；

4、多个连接板，所述连接板的中间开设有长条孔，所述连接板固定在两个电极板上的底板处，多个底板和连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

4.如权利要求3所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

5.如权利要求4所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

6.如权利要求5所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流源的偏转器，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：宋凤麒，曹路，贝茂阳，
申请(专利权)人：江苏集创原子团簇科技研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：