下载一种用于团簇束流源的偏转器的技术资料

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本技术涉及偏转器技术领域,具体为一种用于团簇束流源的偏转器,包括:多个电极板,所述电极板具有底板和固定在底板两侧且向外倾斜的两侧板,所述底板上固定有电极本体,所述电极本体为扇形半圆柱体;多个连接板,所述连接板的中间开设有长条孔,所述连接板固...
该专利属于江苏集创原子团簇科技研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏集创原子团簇科技研究院有限公司授权不得商用。

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