【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及电子测量领域，具体而言，涉及一种互连阻抗在线监控方法及系统。
技术介绍
1、快速有效地实现微米尺度甚至纳米尺度上封装互连结构的精确阻抗测量，对于半导体制造行业至关重要。现今已有多种技术方案被开发出，并在封装互连工艺实施监控和相关封装及板级可靠性等领域投入使用。目前，四端法测试方案仍是行业获取加工材料电学参数和微纳结构设计阻抗的首选。但是，由于该方案本质上是基于宏观尺度下欧姆定律进行的物理平均，所以无法对封装体中微互连的阻抗分布及与之相关联的工艺变异定位提供更多有效信息，而恰是此类信息对封装制造中工艺在线监控和可靠性实验中失效位置的快速定位，尤为重要。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供了一种互连阻抗在线监控方法及系统，以至少解决相关技术中无法对封装体中微互连阻抗分布及与之相关联的工艺变异定位的问题。
2、根据本专利技术的一个实施例，提供了一种互连阻抗在线监控方法，包括：根据时域反射仪tdr设备采集的互连阻抗的不同时刻的反射系数ρ确定所述互连阻抗中特征阻抗的分布；连续采集所述反射系数ρ，根据所述反射系数ρ的异常值判断所述互连阻抗的异常位置。
3、在一个示例性实施例中，还包括：根据所述tdr设备采集的不同时刻的反射系数ρ和测试回路的参考阻抗zf确定所述互连阻抗中特征阻抗的阻值:zl＝zf*(1+ρ)/(1-ρ)其中，zl表示所述特征阻抗的阻值。
4、在一个示例性实施例中，所述互连阻抗的异常位置的异常情况包括以下至少之一：封装互
5、在一个示例性实施例中，在所述互连阻抗的异常位置的异常情况为待测的互连阻抗的结构存在空洞或者工艺缺陷时，根据空间位置与反射时间的映射关系，获得异常位置：
6、
7、其中，εr为介电常数，c为光速，t为tdr接收到反射波的时间，即反射谱上反射系数发生阶跃的时间，l为反射点位置。
8、在一个示例性实施例中，还包括：采用恒定电流源为所述互连阻抗施加恒定电流，使得所述互连阻抗结构老化；根据所述tdr设备采集所述老化的互连阻抗结构的不同位置的反射系数ρ，确定不同位置互连阻抗的老化退化程度，估算或者比较特定批次或多个批次间封装产品的互连阻抗的特征寿命。
9、在一个示例性实施例中，所述互连阻抗包括以下至少之一：单焊点的互连阻抗测试结构；菊花链的互连阻抗测试结构。
10、根据本专利技术的另一个实施例，提供了一种互连阻抗在线监控系统，包括：待测试模块，与时域反射仪tdr设备相连，其中，所述待测试模块包括互连阻抗结构；分布监控模块，用于根据所述tdr设备采集的不同时刻的反射系数ρ确定所述互连阻抗结构中特征阻抗的分布；异常监控模块，用于连续采集所述反射系数ρ，根据所述反射系数ρ的异常值判断所述互连阻抗结构的异常位置。
11、在一个示例性实施例中，还包括：阻值计算模块，用于根据所述tdr设备采集的不同时刻的反射系数ρ和测试回路的参考阻抗zf确定所述互连阻抗结构中特征阻抗的阻值:zl＝zf*(1+ρ)/(1-ρ)其中，zl表示所述特征阻抗的阻值。
12、在一个示例性实施例中，还包括：恒定电流源模块，与所述待测试模块相连，用于为所述待测试模块施加恒定电流使得所述互连阻抗结构老化；寿命估算模块，用于根据所述tdr设备采集所述老化的互连阻抗结构的不同位置的反射系数ρ确定不同位置互连阻抗的老化退化程度，估算或者比较特定批次或多个批次间封装产品的互连阻抗结构的特征寿命。
13、在一个示例性实施例中，还包括：开关模块，用于实现所述待测试模块与所述tdr设备的连接或者所述待测试模块与恒定电流源模块的连接。
14、在一个示例性实施例中，还包括：控制模块，用于提供指令流和数据流的i/o接口，控制所述待测试模块，所述分布监控模块，所述异常监控模块，所述阻值计算模块，所述恒定电流源模块，所述寿命估算模块和所述开关模块的通讯及功能切换。
15、在本专利技术的上述实施例中，通过根据时域反射仪tdr设备采集的互连阻抗的不同时刻的反射系数ρ确定互连阻抗中特征阻抗的分布，连续采集反射系数ρ，根据反射系数ρ的异常值判断互连阻抗的异常位置，从而解决了相关技术中无法对封装体中微互连阻抗分布及与之相关联的工艺变异定位的问题，达到了在线监控封装体中微互连阻抗分布及异常情况的效果。
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1.一种互连阻抗在线监控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述互连阻抗的异常位置的异常情况包括以下至少之一：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述互连阻抗的异常位置的异常情况为待测的互连阻抗的结构存在空洞或者工艺缺陷时，
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1-5任一所述的方法，其特征在于，所述互连阻抗包括以下至少之一：
7.一种互连阻抗在线监控系统，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括：
11.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种互连阻抗在线监控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述互连阻抗的异常位置的异常情况包括以下至少之一：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述互连阻抗的异常位置的异常情况为待测的互连阻抗的结构存在空洞或者工艺缺陷时，
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙钮一，杨丹，梅娜，孙拓北，
申请(专利权)人：深圳市中兴微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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