一种磷烷的金属检测方法技术

本发明专利技术属于磷烷的金属检测领域，提供了一种磷烷的金属检测方法，使用ICP‑MS分析仪器，将样品稀释适当倍数注入到电感耦合等离子体中，将金属元素离子化，通过质谱仪将离子根据其质荷比分离，并使用相应的离子探测器进行信号检测和计数，得到未加标样品待测元素的响应值。选择适当浓度的内标元素加入到样品中。选择适当浓度梯度的待测元素标准液加入到样品中，并检测，得到若干个标准点。以待测元素的响应值与内标元素响应值之比为y轴，待测元素与内标元素的浓度之比为x轴绘制内标校正标准曲线。本发明专利技术解决了磷烷取样前处理的问题，并通过使用ICP‑MS优化仪器参数后检测，具有较高的准确性和精确度，可以提供可靠的分析结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于磷烷的金属检测领域，具体地说是一种磷烷的金属检测方法。

技术介绍

1、磷烷(ph3)是一种非常重要的电子气体，作为n型掺杂剂，在外延和离子注入工艺中起着十分关键的作用。同时磷烷也是合成化合物半导体磷砷化镓(gaasp)的重要原料。化合物半导体广泛应用于发光二极管(led)和高效太阳能电池的制造。

2、目前应用于电子行业的磷烷的纯度都在7n(99.99999％)左右，磷烷(ph3)合成不能通过简单的单质反应来实现，通常是使用金属磷化物水解来制备，在制备过程中，磷烷中可能会携带少量的金属离子，金属离子作为深能级杂质在大功率激光器外延生长过程对器件性能有明显影响，需要严格控制金属离子含量。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种磷烷的金属检测方法，以解决现有技术中磷烷中可能会携带少量的金属离子，金属离子作为深能级杂质在大功率激光器外延生长过程对器件性能有明显影响，需要严格控制金属离子含量等问题。

2、一种磷烷的金属检测方法，包括以下步骤：

3、步本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磷烷的金属检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤1中，所述磷烷采用10-20wt%的电子级双氧水吸收并控制温度为0-5℃；优选为磷烷采用15wt%的电子级双氧水吸收并控制温度为1℃。

3.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤1中，所述磷烷待测样品的稀释倍数为5-12倍。

4.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤2中，所述的内标元素选自115In、159Tb、209Bi、103Rh、45Sc中的一个或多个。

5.根据权利要求4所述的磷烷...

【技术特征摘要】

1.一种磷烷的金属检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤1中，所述磷烷采用10-20wt%的电子级双氧水吸收并控制温度为0-5℃；优选为磷烷采用15wt%的电子级双氧水吸收并控制温度为1℃。

3.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤1中，所述磷烷待测样品的稀释倍数为5-12倍。

4.根据权利要求1所述的磷烷的金属检测方法，其特征在于，步骤2中，所述的内标元素选自115in、159tb、209bi、103rh、45sc中的一个或多个。

5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶瑞，程正鹏，贺兆波，杨着，夏致远，刘悦，李琴，万富强，曾靖淞，蔡俊霄，卢声，田坤，吴春元，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：