【技术实现步骤摘要】
本公开属于半导体制备，特别涉及一种具有匀热功能的行星盘及石墨托盘。
技术介绍
1、微型发光二极管(micro light emitting diode，micro led)，具有分辨率高，色彩饱和度大、响应速度快等优点，在显示领域、光通信领域、生物领域和医疗领域等实现了广泛的应用。
2、在相关技术中，微型发光二极管在制备过程中，需要使用金属有机化学气相沉积设备来制备外延片。石墨托盘是金属有机化学气相沉积设备中的重要部件，其中配置有多个行星盘，通过行星盘承托衬底，以便于在衬底上生长外延层，从而得到外延片。行星盘包括圆盘件和圆环件，圆环件位于圆盘件的外边缘处，用于对放置在圆环件上的衬底进行限位。
3、然而，为了便于机械臂将圆环件装配至圆盘件的外边缘处，圆环件的内径要大于圆盘件的外径，也即圆环件的内边缘与圆盘件的外边缘之间存在一定的活动空间，导致圆环件在装配至圆盘件之后，容易出现一定的偏移，进而导致衬底外边缘不同部位与圆环件之间的距离不同，存在受热不均的问题。
技术实现思路
1、本公开实施例提供了一种具有匀热功能的行星盘及石墨托盘，能够有效的提高衬底的受热均匀性，进而保证了制备出的外延片的片内波长均匀性。所述技术方案如下：
2、第一方面，本公开实施例提供了一种行星盘，所述行星盘应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件和圆环件；
3、所述圆盘件包括基盘和支撑盘，所述基盘与所述支撑盘同轴相连，且所述基盘的外径大于所述支撑盘的外径；
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5、在本公开的一种实现方式中，所述缺口的开口位于所述限位环的内壁，所述缺口沿所述限位环的轴向贯穿所述限位环。
6、在本公开的一种实现方式中，所述缺口的深度方向，与所述限位环的径向一致。
7、在本公开的一种实现方式中，所述限位环的内径小于所述装配环的内径，所述限位环的外径与所述装配环的外径一致。
8、在本公开的一种实现方式中，在所述圆环件的轴向上，所述限位环的厚度大于所述装配环的厚度。
9、在本公开的一种实现方式中，在所述圆环件的轴线方向上，所述限位环的厚度大于1200um。
10、在本公开的一种实现方式中，在所述圆盘件的轴向上，所述支撑盘的厚度大于所述装配环的厚度。
11、在本公开的一种实现方式中，所述圆盘件为一体式结构件，所述圆环件为一体式结构件。
12、第二方面，本公开实施例提供了一种石墨托盘，所述石墨托盘包括主盘体、覆盖件和多个第一方面所述的行星盘；
13、所述覆盖件贴设在所述主盘体的一面，所述覆盖件具有多个相互间隔排布的容置孔，所述容置孔与所述行星盘一一对应；
14、所述行星盘位于对应的所述容置孔内。
15、在本公开的一种实现方式中，所述石墨托盘还包括第一安装件和第二安装件；
16、所述第一安装件分别与所述覆盖件和所述主盘体相插接；
17、所述第二安装件分别与所述基盘和所述主盘体相插接。
18、本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
19、支撑盘用于承载衬底，限位环用于对衬底进行限位，限位环的内壁与衬底的外边缘相对。由于限位环的内壁具有多个缺口，所以有效的增大了限位环内壁处的比表面积，从而有利于控制热量的传导和散失。如此一来，即使是在行星盘工作的过程中，衬底与限位环接触，接触位置也不易产生热量的聚集，从而实现衬底外边缘温度的相对均匀(接触限位环区域与远离限位环区域的温度差异降低)，进而有利于实现外延片的片内整体(波长、电特性等)的均匀性提升。
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1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；
2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述缺口(211)的开口位于所述限位环(210)的内壁，所述缺口(211)沿所述限位环(210)的轴向贯穿所述限位环(210)。
3.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述缺口(211)的深度方向，与所述限位环(210)的径向一致。
4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述限位环(210)的内径小于所述装配环(220)的内径，所述限位环(210)的外径与所述装配环(220)的外径一致。
5.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，在所述圆环件(20)的轴向上，所述限位环(210)的厚度大于所述装配环(220)的厚度。
6.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，在所述圆环件(20)的轴线方向上，所述限位环(210)的厚度大于1200um。
7.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，在所述圆盘件(10)的轴向上，所述支撑盘(120)的厚度大于所述装配环(220
8.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述圆盘件(10)为一体式结构件，所述圆环件(20)为一体式结构件。
9.一种石墨托盘，其特征在于，包括主盘体(100)、覆盖件(200)和多个权利要求1-8任一项所述的行星盘(300)；
10.根据权利要求9所述的石墨托盘，其特征在于，所述石墨托盘还包括第一安装件(400)和第二安装件(500)；
...【技术特征摘要】
1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；
2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述缺口(211)的开口位于所述限位环(210)的内壁，所述缺口(211)沿所述限位环(210)的轴向贯穿所述限位环(210)。
3.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述缺口(211)的深度方向，与所述限位环(210)的径向一致。
4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述限位环(210)的内径小于所述装配环(220)的内径，所述限位环(210)的外径与所述装配环(220)的外径一致。
5.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，在所述圆环件(20)的轴向上，所述限位环(210)的厚度大于...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈张笑雄，薛涛，王群，龚逸品，王江波，
申请(专利权)人：华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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