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本公开提供了一种具有匀热功能的行星盘及石墨托盘，属于半导体制备技术领域。该行星盘包括：圆盘件和圆环件；圆盘件包括基盘和支撑盘，基盘与支撑盘同轴相连，且基盘的外径大于支撑盘的外径；圆环件包括限位环和装配环，限位环与装配环同轴相连，限位环的内壁...
该专利属于华灿光电（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华灿光电（苏州）有限公司授权不得商用。

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