【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蓝宝石加工，特别涉及一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具。
技术介绍
1、蓝宝石是氧化铝的单晶，是自然界里硬度第二的材料，仅次于钻石；蓝宝石具有良好的透光性，高强度、抗碰撞阻力，耐磨性，抗腐蚀及抗高温高压，生物相容性，其是制作半导体光电子器件的一种理想材料。
2、在对蓝宝石晶圆片进行加工过程中，蓝宝石晶圆在剪薄抛光前，需要在晶圆背面旋涂一层蜡，使得晶圆与陶瓷盘贴合，从而实现剪薄抛光的准备工作，而在剪薄抛光完成后需要将晶圆进行下蜡，即使晶圆与陶瓷盘分离，且在下蜡完成后，需要人工对晶圆进行双面刷洗，以确保晶圆上下表面的清洁，蓝宝石晶圆的清洗方式常采用清洗治具进行清洗工作，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了清洗晶圆的治具(公开公告号cn217691092u)，此类装置通过将晶圆放置于清洗槽内部，作为清洗载具，对晶圆进行便捷式清洗工作，无需人工手持进行清洗，避免人工拿持晶圆而对晶圆造成污染。
3、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的清洗晶圆的治具，还存在一些不足之处：此类采用清洗槽作为晶圆清洗载具的方式，其虽然取代传统人工手持进行清洗的方式，但是在清洗翻面过程中，仍需人工手动操作进行翻面清洗工作，一方面在翻面过程中，极易出现污染晶圆的情况，另一方面频繁翻面较为不便，影响清洗进度。为此，本领域技术人员提供了一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，可以有效
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，包括安装底座和安装顶座，所述安装底座和安装顶座之间通过安装于其两端的两组升降导杆固定，两组所述升降导杆的臂杆上半部套设有升降滑架，所述升降滑架的支架上方呈对称形式安装有与安装顶座连接的两组电动推杆，且升降滑架的支架下方安装有套设在升降导杆外部的下压支板，两组所述升降导杆的臂杆下半部套设有定支板，且定支板与下压支板的板架端呈对称形式均安装有夹具机构。
3、作为本技术再进一步的方案：所述夹具机构包括呈对称形式安装在定支板与下压支板板架中部的两组旋转电机，所述旋转电机的输出端设置有导轨架，所述导轨架的轨道内部转动连接有对夹丝杆，且对夹丝杆的轴杆端对称套设有两组对夹滑台，两组所述对夹滑台的上部输出端呈对称形式安装有两组对夹卡座。
4、作为本技术再进一步的方案：所述对夹丝杆的一端输出端设置有内六角轴套，且对夹丝杆以中线为界，中线的两侧分别设置有相互对称排列的正、反丝牙，所述对夹丝杆通过正、反丝牙与两组对夹滑台对称套接。
5、作为本技术再进一步的方案：所述对夹卡座的对夹面为梯形凹槽结构，且对夹卡座采用天然橡胶材质构件。
6、作为本技术再进一步的方案：两组所述电动推杆的伸缩端均与安装顶座固定连接。
7、作为本技术再进一步的方案：所述下压支板与定支板的支架两端均设置有与升降导杆相导向的导向滑套。
8、作为本技术再进一步的方案：两组所述升降导杆的臂杆底端均套设有压缩弹簧，所述定支板通过压缩弹簧与升降导杆弹性卡合。
9、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
10、1.本技术通过对夹具机构中对夹卡座方位的对夹校位，能够对其对夹方位进行灵活调控，一方面使其适应不同大小蓝宝石晶圆的夹固，灵活适配性更高，能够便于对不同大小的蓝宝石晶圆进行夹固清洗工作，另一方面利用对夹卡座的对夹，能够对固蓝宝石晶圆边框进行对夹固定，不会影响清洗质量，确保蓝宝石晶圆的清洗全面性。
11、2.本技术通过利用电动推杆推动两组对夹具机构的对夹，能够对蓝宝石晶圆进行自主式夹固工作，无需人工手持进行固定清洗，且在对蓝宝石晶圆进行清洗过程中，通过利用对夹具机构中旋转电机的旋转驱动，能够带动蓝宝石晶圆自主旋转翻面，对蓝宝石晶圆进行全面的清洗工作，一方面提高清洗效率，节省清洗时长，另一方面无需人工手动进行翻面，避免污染物沾染在晶圆表面。
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1.一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，包括安装底座(1)和安装顶座(2)，其特征在于，所述安装底座(1)和安装顶座(2)之间通过安装于其两端的两组升降导杆(3)固定，两组所述升降导杆(3)的臂杆上半部套设有升降滑架(5)，所述升降滑架(5)的支架上方呈对称形式安装有与安装顶座(2)连接的两组电动推杆(4)，且升降滑架(5)的支架下方安装有套设在升降导杆(3)外部的下压支板(6)，两组所述升降导杆(3)的臂杆下半部套设有定支板(7)，且定支板(7)与下压支板(6)的板架端呈对称形式均安装有夹具机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，所述夹具机构(9)包括呈对称形式安装在定支板(7)与下压支板(6)板架中部的两组旋转电机(91)，所述旋转电机(91)的输出端设置有导轨架(92)，所述导轨架(92)的轨道内部转动连接有对夹丝杆(96)，且对夹丝杆(96)的轴杆端对称套设有两组对夹滑台(94)，两组所述对夹滑台(94)的上部输出端呈对称形式安装有两组对夹卡座(95)。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征
4.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，所述对夹卡座(95)的对夹面为梯形凹槽结构，且对夹卡座(95)采用天然橡胶材质构件。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，两组所述电动推杆(4)的伸缩端均与安装顶座(2)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，所述下压支板(6)与定支板(7)的支架两端均设置有与升降导杆(3)相导向的导向滑套。
7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，两组所述升降导杆(3)的臂杆底端均套设有压缩弹簧(8)，所述定支板(7)通过压缩弹簧(8)与升降导杆(3)弹性卡合。
...【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，包括安装底座(1)和安装顶座(2)，其特征在于，所述安装底座(1)和安装顶座(2)之间通过安装于其两端的两组升降导杆(3)固定，两组所述升降导杆(3)的臂杆上半部套设有升降滑架(5)，所述升降滑架(5)的支架上方呈对称形式安装有与安装顶座(2)连接的两组电动推杆(4)，且升降滑架(5)的支架下方安装有套设在升降导杆(3)外部的下压支板(6)，两组所述升降导杆(3)的臂杆下半部套设有定支板(7)，且定支板(7)与下压支板(6)的板架端呈对称形式均安装有夹具机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆加工用清洗治具，其特征在于，所述夹具机构(9)包括呈对称形式安装在定支板(7)与下压支板(6)板架中部的两组旋转电机(91)，所述旋转电机(91)的输出端设置有导轨架(92)，所述导轨架(92)的轨道内部转动连接有对夹丝杆(96)，且对夹丝杆(96)的轴杆端对称套设有两组对夹滑台(94)，两组所述对夹滑台(94)的上部输出端呈对称形式安装有两组对夹卡座(95)。
【专利技术属性】
技术研发人员：肖迪，王凯涵，张兴姿，
申请(专利权)人：青岛芯康半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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