执行机构、光扫描器及图像形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种可实现低成本化及小型化的、可使可动板绕Ｘ轴及与Ｘ轴垂直的Ｙ轴中的每个轴旋转的投影仪、光扫描器及图像形成装置。投影仪包括：框状的驱动部件（２１１）；第一振动系统（２１），用于双支承驱动部件，以便使驱动部件可绕Ｘ轴旋转；可动板（２２１），设置在框状的驱动部件的框的内侧，可动板包括具有光反射性的光反射部；第二振动系统（２２），用于将可动板双支承于驱动部件，以便使可动板可绕与Ｘ轴垂直的Ｙ轴旋转；永久磁铁（６１），固定于框状的驱动部件的框；线圈（６２），与永久磁铁相对地设置；以及光源，向光反射部照射光，其中，永久磁铁形成长条状，该长条方向相对Ｘ轴和Ｙ轴的各轴倾斜，并且，永久磁铁设置在离开可动板的可动范围的位置上，由光反射部反射光源的光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种投影仪、执行机构、光扫描器及图像形成装置。
技术介绍
例如，作为用于在打印机等中通过光扫描进行描绘的光扫描器，公开有对光进行 二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1)。专利文献1的光扫描器包括扫描器主体，该扫描器主体包括框状的 外侧可动板、 可绕X轴摇动(旋转)地轴支承该外侧可动板的一对第一扭杆、被设置在外侧可动板的内 侧的内侧可动板、以及可绕与X轴垂直的Y轴摇动地轴支承该内侧可动板的一对第二扭杆； 一对驱动线圈，分别设置在外侧可动板及内侧可动板上；以及一对永久磁铁，隔着扫描器主 体，相互相对地设置。但是，由于这样的光扫描器通过光扫描器主体以相互对置的方式设置有一对永久 磁铁，所以，难以实现光扫描器的小型化。而且，由于分别在外侧可动板及内侧可动板上各 设置一个驱动线圈，所以难以实现低成本化。专利文献1 日本特开平8-322227号公报
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题，目的在于提供可实现低成本化及小型化的、可使可动板绕X 轴及与X轴垂直的Y轴中的每个轴旋转的执行机构、光扫描器及图像形成装置。通过以下所述的本专利技术来实现上述目的。根据本专利技术的投影仪，其包括框状的驱动部件；第一振动系统，用于双支承上述 驱动部件，以便使上述驱动部件可绕X轴旋转；可动板，设置在上述框状的驱动部件的框的 内侧，上述可动板包括具有光反射性的光反射部；第二振动系统，用于将上述可动板双支承 于上述驱动部件，以便使上述可动板可绕与上述X轴垂直的Y轴旋转；永久磁铁，固定于上 述框状的驱动部件的上述框；线圈，与上述永久磁铁相对地设置；以及光源，向上述光反射 部照射光。其中，上述永久磁铁形成长条状，该长条方向相对上述X轴和上述Y轴的各轴倾 斜，并且，上述永久磁铁设置在离开上述可动板的可动范围的位置上，由上述光反射部反射 上述光源的光。由此，可以提供可实现低成本化及小型化的、可使上述可动板绕上述X轴及上述Y 轴中的每个轴旋转的投影仪。在本专利技术的投影仪中，优选方式是，上述光源发射红色、蓝色、绿色的激光。在本专利技术的投影仪中，优选方式是，上述永久磁铁经过上述X轴和上述Y轴的交 点，沿着相对于上述X轴或者上述Y轴倾斜30 60度的线段设置上述永久磁铁。由此，可以使上述可动板极其顺利地绕上述X轴及上述Y轴中的每个轴转动。在本专利技术的投影仪中，优选方式是，上述线圈被设置在上述永久磁铁的正下面。由此，可以实现执行机构的省电化及小型化。在本专利技术的投影仪中，优选方式是，上述可动板包括在与上述永久磁铁相反侧的 面上具有光反射性的光反射部。由此，可用于例如激光打印机、条形码阅读器、激光共聚焦扫描显微镜、成像用显 示器等图像形成装置所具备的光学设备。附图说明图1是表示本专利技术的执行机构的优选实施例的立体图；图2是图1中的A-A线的剖面图；图3是表示具备如图1所示的执行机构的驱动单元的电压施加单元的框图；图4是在如图3所示的第一电压产生部及第二电压产生部中产生的电压的示意 图；以及图5是表示本专利技术的图像形成装置的概略图。 具体实施例方式下面，参照附图，对本专利技术的执行机构、光扫描器及图像形成装置的优选实施例进 行说明。图1是表示本专利技术的执行机构的优选实施例的俯视图，图2是图1中的A-A线的 剖面图，图3是表示具备如图1所示的执行机构的驱动单元的框图，图4是在如图3所示的 第一电压产生部及第二电压产生部中产生的电压的示意图。此外，下面，为了便于说明，将 图1中纸面的读者侧称为“上”，将图1中纸面的里侧称为“下”，将右侧称为“右”，将左侧称 为“左”，将图2中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”，将右侧称为“右”，将左侧称为“左”。如图1所示，执行机构1包括具备第一振动系统21和第二振动系统22的基体2。 此外，如图2所示，执行机构1包括支承基板3，通过接合层4支承基体2 ；对置基板5，隔 着支承基板3与基体2对置；以及驱动单元6，分别驱动第一振动系统21和第二振动系统 22。如图1所示，基体2包括框状的支承部23 ；第一振动系统21，由支承部23所支 承；以及第二振动系统22，由第一振动系统21所支承。第一振动系统21包括框状的驱动部件211，被设置在支承部23的内侧；以及一 对第一轴部件212、213，用于将驱动部件211双支承于支承部23。而且，第二振动系统22 包括可动板221，被设置在驱动部件211的内侧；以及一对第二轴部件222、223，用于将可 动板221双支承于驱动部件211上。S卩，基体2包括可动板221、一对第二轴部件222和223、驱动部件211、一对第一轴部件212和213、支承部23。在俯视图1(即，俯视可动板221)的情况下，驱动部件211呈圆环状。但是，只要 驱动部件211的形状是框状，则并没有特别的限定。而且，在该驱动部件211的下面设置有 后述的永久磁铁61。这样的驱动部件211通过一对第一轴部件212、213被双支承于支承部230第一轴部件212、213中的每个轴部件形成长条状，且可弹性变形。第一轴部件212,213中的每个轴部件连接驱动部件211和支承部23，以便使驱动部件211相对于支承 部23可以转动。这样的第一轴部件212、213被设置成相互同轴，以该轴(下面称为“转动 中心轴X”)为中心，驱动部件211相对于支承部23转动。在俯视的情况下，形成在驱动部件211的内侧的可动板221形成圆形。但是，对可 动板221的形状并没有特别的限定。而且，在可动板221的上表面形成具有光反射性的光 反射部221a。这样的可动板221通过一对第二轴部件222、223被双支承于驱动部件211。第二轴部件222、223中的各轴部件形成长条状，且可弹性变形。第二轴部件222、 223中的各轴部件连接可动板221和驱动部件211，以便使可动板221相对于驱动部件211 可转动。这样的第二轴部件222、223被设置成相互同轴，以该轴(下面称为“转动中心轴 Y”)为中心，可动板221相对于驱动部件211转动。此外，如图1所示，转动中心轴X和转动中心轴Y是相互垂直的轴。S卩，转动中心 轴X和转动中心轴Y所成的角为90度。而且，在俯视图1的情况下，驱动部件211的中心 及可动板221的中心中的各中心位于转动中心轴X和转动中心轴Y的交点上。这样的基体2例如以硅为主要材料而构成，且与可动板221、第二轴部件222和 223、驱动部件211、第一轴部件212和213、支承部23 —体形成。由于以硅为主要材料，可 以实现卓越的转动特性，同时，可以发挥卓越的可靠性。而且，可以进行微细处理(加工)， 从而可以实现执行机构1的小型化。此外，基体2也可以通过具有SOI基板等的层压结构的基板来形成可动板221、第 二轴部件222和223、驱动部件211、第一轴部件212和213、支承部23。此时，优选在层压 结构基板的一层来一体构成可动板221、第二轴部件222和223、驱动部件211、第一轴部件 212和213、支承部23。如图2所示，这样的基体2提高接合层4与支承基板3接合。这样的支承基板3 例如以玻璃或硅为主要材料而构成。在俯视可动板221的情况下，支承基板3与支承部23 大致形成相同的形状(即，形成框状)。但是，支承基板3的形状只要是可支承基体2即可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种投影仪，其特征在于，包括：框状的驱动部件；第一振动系统，用于双支承所述驱动部件，以便使所述驱动部件可绕Ｘ轴旋转；可动板，设置在所述框状的驱动部件的框的内侧，所述可动板包括具有光反射性的光反射部；第二振动系统，用于将所述可动板双支承于所述驱动部件，以便使所述可动板可绕与所述Ｘ轴垂直的Ｙ轴旋转；永久磁铁，固定于所述框状的驱动部件的所述框；线圈，与所述永久磁铁相对地设置；以及光源，向所述光反射部照射光，其中，所述永久磁铁形成长条状，该长条方向相对所述Ｘ轴和所述Ｙ轴的各轴倾斜，并且，所述永久磁铁设置在离开所述可动板的可动范围的位置上，由所述光反射部反射所述光源的光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：沟口安志，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]