本发明专利技术公开了一种耐磨复合涂层及其制备方法和应用，属于表面防护与传感涂层技术领域。本发明专利技术提供的耐磨复合涂层，包括层叠的绝缘基体层和传感层；所述传感层含有金属氮化物，或金属氮化物与金属材料。本发明专利技术将金属氮化物作为传感层材料，得到的涂层材料能够起到在耐磨防护的同时也具备传感功能。以及，将金属材料作为传感层材料，可以进一步提高复合涂层的导电性和稳定性。本发明专利技术的复合涂层作为传感器，能对被集成元件所受到的应力、温度进行实时监测，还能对传感器和被集成元件进行防护，减少传感器和被集成元件所受到的损耗。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于表面防护与传感涂层，尤其涉及一种耐磨复合涂层及其制备方法和应用。
技术介绍
1、随着薄膜技术的发展，国内外研究学者对薄膜热电偶的研究进入白热化阶段，并取得了令人鼓舞的进展，使薄膜热电偶在温度测量领域展现出广阔的应用前景，以更新颖的形式出现在各式各样的测试场合中。薄膜热电偶通常由两种材料制成，分别作为正极和负极，它们连接成一个闭环。当热端受温度激励时，一旦热端和冷端之间存在温度梯度场，就可以形成可测量的电压。
2、对于薄膜热电偶的研究与耐磨防护涂层的研究都有一定情况的发展，已经有结合微观形貌与器件结构对薄膜热电偶性能与作用原理的研究，但还是少有从微观结构与物相分析对一体化多层薄膜热电偶开展的研究，所以需要探讨多层结构对热电偶性能的影响，并且在薄膜的制备过程中调控找寻出最优的薄膜制备生产工艺与参数。目前已经有针对热电偶敏感层、防护层及后期热处理优化的相关研究，但相关研究较为分散独立，仅有较少的集成研究与试件应用，目前需要开展对兼具耐磨防护作用和传感作用的薄膜热电偶材料的制备与性能研究，并实现相关应用。
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【技术保护点】
1.一种耐磨复合涂层，其特征在于，包括层叠的绝缘基体层和传感层；
2.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述金属氮化物或金属材料中的金属元素各自独立地选自Cu、Ni、Al、Ti、Cr中的一种或两种符合材料。
3.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述金属氮化物选自AlTiN、AlCrN或TiCrN中的至少一种；
4.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述传感层的厚度为2～4μm；
5.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，还包括层叠在传感层上的耐磨防护层；
6.权利要求1～5任一项所述的复合涂层的制备...
【技术特征摘要】
1.一种耐磨复合涂层，其特征在于，包括层叠的绝缘基体层和传感层；
2.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述金属氮化物或金属材料中的金属元素各自独立地选自cu、ni、al、ti、cr中的一种或两种符合材料。
3.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述金属氮化物选自altin、alcrn或ticrn中的至少一种；
4.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述传感层的厚度为2～4μm；
5.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，还包括层叠在传感层上的耐磨防护层；
6.权利要求1～5任一项所述的复合涂层的制备方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海庆，蔡诚，王启民，吴正涛，伦伟浩，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：
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