【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体器件集成装调
，具体涉及微透镜阵列与二极管激光器 阵列集成的微调方法及装置。
技术介绍
目前，二极管激光器具有小巧、高效、寿命长、易于集成等诸多优点。但正是由于其 尺寸微小，在与微透镜或微透镜阵列集成过程中存在着诸多不便，尤其是精确对准和定位 的问题。现有的微透镜阵列与二极管激光器阵列集成方案中，二者间距定位方法可分两大 方案，方案一是通过观察或测量光束远场特性调节二者间距，以使远场特性达到预期标准。 该方案存在操作不便、人为因素影响过大等不足；方案二是通过在二极管激光器表面根据 需要填充某一厚度的介质层，然后再将微透镜阵列与该介质层的上表面胶合。该方案存在 的缺陷在于引入了介质层的工艺步骤，且该介质层容易改变二极管激光器光束性质以及在 二极管激光器工作过程中老化等问题。超声波测厚仪按工作原理可分为有共振法、干涉法及脉冲反射法等几种。由于脉 冲反射法并不涉及共振机理，与被测物表面的光洁度关系不密切，所以被广泛应用于机械、 化工、电力等领域。脉冲超声波测厚主要根据声波在被测物中的传播速度乘以通过被测物 的时间的一半得到被测物的厚度。同时，...
【技术保护点】
微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法，其特征是，该方法的具体步骤为：步骤一、将微透镜阵列（５）和二极管激光器阵列（７）分别固定在第一真空吸附台（３）和第二真空吸附台（４）上，并且将所述第二真空吸附台（４）固定在微调架（８）上；步骤二、启动超声测厚仪（１），调整微调架（８），将步骤一所述的二极管激光器阵列（７）向微透镜阵列（５）靠近，实现初步对准；所述靠近的距离根据所述超声测厚仪（１）的量程而定；步骤三、调整微调架（８）上的ｚ方向旋钮（８－３），将步骤二所述的微透镜阵列（５）与二极管激光器阵列（７）进一步靠近，获得目标间距时停止调整微调架（８）上的ｚ方向旋钮（８－３）；...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡永生，叶淑娟，秦莉，张楠，宁永强，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]
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