【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动化设备，具体涉及真空自动快速开关智能化系统。
技术介绍
1、物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。传统做法是一般直接将二次配真空通过真空管道直接接入自动化设备真系统，弊端在于：
2、1、真空通过真空管道直接接入自动化设备真系统，半导体测试分选、打标、编带一贯机自动化设备在待机、待料无效时间内，真空会通过转盘吸笔、定位导模流失浪费，从而浪费能源。
3、2、真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞，造成设备不稳定。为了一贯机自动化设备稳定增加维护频率而降低自动化设备稼动率。
技术实现思路
1、本专利技术提供真空自动快速开关智能化系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术所采
3、所述控制终端、控制机构和执行机构之间电性连接，所述真空泵、储存腔室和执行机构之间通过连接管路相互连通。
4、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述储存腔室内部设有检测模块，所述检测模块对储存腔室内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室内部气压增高至预设值时，真空泵启动并将储存腔室内部的气体泵出，从而使储存腔室内部气压处于设定范围。采用上述技术方案，该方案中的检测模块可以使储存腔室内部保持设定范围内的真空状态，从而对真空泵的启动进行缓冲，避免了真空泵直接与自动化设备间的连接。
5、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述检测模块还可以对储存腔室内部的异常状态进行报警，在储存腔室内部气压处于异常时检测模块将异常信号传递至控制终端，所述检测模块与真空泵和控制终端之间电性连接。采用上述技术方案，该方案中的储存腔室作为缓冲结构在真空设备出现异常状态时可以方便的进行排查。
6、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述控制机构为导轨式固态继电器，所述执行机构为两线式二通电动常闭球阀。
7、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述执行机构末端与自动化真空设备相互连通，同时所述执行机构内部设有时间检测模块，时间检测模块对自动化真空设备的管路进行检测，当停机达到设定时间，即设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，时间检测模块自动控制执行机构关闭。
8、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述执行机构关闭后，通过与执行机构电性连接的控制终端可以对控制机构进行控制，进而控制执行机构进行方便的开启复工状态。
9、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述控制终端内部搭载“handler”控制软件，所述“handler”控制软件为修改版以适应增设的真空开关信号。
10、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述真空泵与储存腔室之间设有隔离阀，所述隔离阀在关闭状态时将真空泵与储存腔室之间相互隔离，使得真空泵在关闭时可以使储存腔室内部的气体不通过真空泵进行泄漏。
11、本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述控制终端包括系统设定模块、参数设定模块、维修保养模块、状态监控模块、生产数据模块、档案资料模块和功能限定模块；
12、控制终端，通过修改handler控制软件，增加真空开关信号；真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断，可真空关闭智能化：停机时间达到设定时间；监控到设备吸笔、定位导模上没有元器件，并具有真空打开快速化功能；
13、控制机构，用于通过真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断；
14、执行机构，用于通过一贯机自动化设备修改软件增加真空开关信号控制控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断。
15、优选的，所述控制机构包括导轨式固态继电器本体，所述导轨式固态继电器本体的背面固定安装有固定板，所述导轨式固态继电器本体的背面设置有上夹块和下夹块；
16、所述固定板上开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述上夹块的上表面固定安装有轴承，所述螺纹杆的下端固定安装在轴承的内圈内壁上，所述螺纹杆的上端固定安装有转钮；
17、所述上夹块上开设有弹簧孔，所述弹簧孔的内部插接有导柱，所述导柱的上端固定安装有限位块，所述导柱上套接有弹簧，所述导柱的下端固定安装有橡胶板。
18、由于采用了上述技术方案，本专利技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
19、1、本专利技术提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3s时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本专利技术简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值。
20、2、本专利技术提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，提高自动化设备稼动率、减少能源浪费的问题，同时也降低生产成本。
21、3、本专利技术提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时将自动化设备与真空设备之间相互封闭隔离，从而避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞，造成设备不稳定。
22、4、本专利技术提供真空自动快速开关智能化系统，通过工作人员将导轨式固态继电器本体放置在导轨的正前方，其导轨位于上夹块和下夹块之间，完成后工作人员转动转钮带动螺纹杆进行转动，使螺纹杆推动上夹块移动，使其上夹块和下夹块对导轨进行夹持固定，其中在上夹块上设置橡胶板和弹簧，可使在夹持导轨的状态下，其橡胶板在弹簧的作用下始终抵接在导轨上，使导轨式固态继电器本体被固定的更加稳定，方便控制机构的拆卸和安装，便于进行快速维修。
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1.真空自动快速开关智能化系统，包括控制终端（1）、真空泵（2）、储存腔室（3）、连接管路（4）、控制机构（5）和执行机构（6），其特征在于：所述控制终端（1）、控制机构（5）和执行机构（6）之间电性连接，所述真空泵（2）、储存腔室（3）和执行机构（6）之间通过连接管路（4）相互连通；
2.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述储存腔室（3）内部设有检测模块（7），所述检测模块（7）对储存腔室（3）内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室（3）内部气压增高至预设值时，真空泵（2）启动并将储存腔室（3）内部的气体泵出，从而使储存腔室（3）内部气压处于设定范围。
3.根据权利要求2所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述检测模块（7）还可以对储存腔室（3）内部的异常状态进行报警，在储存腔室（3）内部气压处于异常时检测模块（7）将异常信号传递至控制终端（1），所述检测模块（7）与真空泵（2）和控制终端（1）之间电性连接。
4.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述执行机构（6）末端与自动化真
5.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述执行机构（6）关闭后，通过与执行机构（6）电性连接的控制终端（1）可以对控制机构（5）进行控制，进而控制执行机构（6）进行方便的开启复工状态。
6.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制终端（1）内部搭载“Handler”控制软件，所述“Handler”控制软件为修改版以适应增设的真空开关信号。
7.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述真空泵（2）与储存腔室（3）之间设有隔离阀（9），所述隔离阀（9）在关闭状态时将真空泵（2）与储存腔室（3）之间相互隔离，使得真空泵（2）在关闭时可以使储存腔室（3）内部的气体不通过真空泵（2）进行泄漏。
8.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制终端（1）包括系统设定模块、参数设定模块、维修保养模块、状态监控模块、生产数据模块、档案资料模块和功能限定模块；
9.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制机构（5）包括导轨式固态继电器本体（1），所述导轨式固态继电器本体（1）的背面固定安装有固定板（502），所述导轨式固态继电器本体（1）的背面设置有上夹块（503）和下夹块（504）；
...【技术特征摘要】
1.真空自动快速开关智能化系统，包括控制终端（1）、真空泵（2）、储存腔室（3）、连接管路（4）、控制机构（5）和执行机构（6），其特征在于：所述控制终端（1）、控制机构（5）和执行机构（6）之间电性连接，所述真空泵（2）、储存腔室（3）和执行机构（6）之间通过连接管路（4）相互连通；
2.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述储存腔室（3）内部设有检测模块（7），所述检测模块（7）对储存腔室（3）内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室（3）内部气压增高至预设值时，真空泵（2）启动并将储存腔室（3）内部的气体泵出，从而使储存腔室（3）内部气压处于设定范围。
3.根据权利要求2所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述检测模块（7）还可以对储存腔室（3）内部的异常状态进行报警，在储存腔室（3）内部气压处于异常时检测模块（7）将异常信号传递至控制终端（1），所述检测模块（7）与真空泵（2）和控制终端（1）之间电性连接。
4.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述执行机构（6）末端与自动化真空设备（8）相互连通，同时所述执行机构（6）内部设有时间检测模块，时间检测模块对自动化真空设备（8）的管路进行检测，当停机达到设定时间，即设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，时间检测模块自动控制执...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐军辉，崔群，王毅，李海琳，胡学同，陆叶兴，
申请(专利权)人：泗洪红芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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