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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及利用压电体的流体控制装置。
技术介绍
1、以往,针对利用压电体来输送流体的流体控制装置,如专利文献1所示,进行了各种设计。
2、专利文献1所示的流体控制装置具备泵室和阀室。阀室具备阀顶板、阀底板以及膜。在阀顶板和阀底板,在各自不重叠的位置形成有贯通孔。阀室通过设置于阀底板的贯通孔而与泵室连通。
3、膜配置在阀顶板与阀底板之间。在膜形成有贯通孔。膜的贯通孔的位置与阀顶板的贯通孔重叠。由此,在流体从泵室(阀底板的贯通孔)流入时,流体经过膜的贯通孔及阀顶板的贯通孔向外部送出。另一方面,在流体从阀顶板的贯通孔流入的情况下,由于膜堵塞阀底板的贯通孔,因此流体不会回流到泵室。由此,专利文献1所示的流体控制装置实现整流功能。
4、专利文献1:日本特开2017-72140号公报
5、然而,在专利文献1所记载的流体控制装置中,在阀室内,流体的流路多次屈曲。因此,不容易获得高流量。
技术实现思路
1、因此,本专利技术的目的在于提供一种获得高流量的流体控制装置。
2、本专利技术的流体控制装置具备第一主板、第二主板、侧板以及泵室。第一主板具有第一主面和第二主面。第二主板具有第三主面和第四主面,第三主面与第一主面对置。侧板将第一主板与第二主板连接。泵室是由第一主板、第二主板以及侧板围起来的空间。
3、第一主板具备中央部、配置于中央部的外周的框部、与框部及中央部连接并将中央部支承为可振动的支承部、以及第一开口。第一开口形成在
4、整流部用基座部件为从侧板的内壁突出的形状,配置在第一主板与第二主板之间。第一整流部件配置在第一主板与整流部用基座部件之间,根据中央部的振动,控制第一主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。第二整流部件配置在第二主板与整流部用基座部件之间,根据中央部的振动,与第一整流部件的控制相反地控制第二主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。
5、在该结构中,根据第一主板的中央部的振动,切换使泵室与第一开口侧连通而与第二开口侧不连通(断开、分离)的形态、和使泵室与第二开口侧连通而与第一开口侧不连通(断开、分离)的形态。此时,流体不通过复杂地屈曲的路径,因此流量不易降低。
6、根据本专利技术,能够实现获得高流量的流体控制装置。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种流体控制装置,其中,具备:
2.根据权利要求1所述的流体控制装置,其中,
【技术特征摘要】
1.一种流体控制装置,其中,具备:
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