流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一膜(61)以及第二膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)由被第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起来的空间实现。整流部用基座部件(80)配置在第一主板(20)与上述第二主板(40)之间。第一膜(61)配置于第一主板(20)且为可动部相对于固定端成为侧板(50)侧的形状。第二膜(62)配置于整流部用基座部件(80)的主面(802)，且为可动部相对于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用压电体的流体控制装置。

技术介绍

1、以往，针对利用压电体来输送流体的流体控制装置，如专利文献1所示，进行了各种设计。

2、专利文献1所示的流体控制装置具备泵室和阀室。阀室具备阀顶板、阀底板以及膜。在阀顶板和阀底板，在各自不重叠的位置形成有贯通孔。阀室通过设置于阀底板的贯通孔而与泵室连通。

3、膜配置在阀顶板与阀底板之间。在膜形成有贯通孔。膜的贯通孔的位置与阀顶板的贯通孔重叠。由此，在流体从泵室(阀底板的贯通孔)流入时，流体经过膜的贯通孔及阀顶板的贯通孔向外部送出。另一方面，在流体从阀顶板的贯通孔流入的情况下，由于膜堵塞阀底板的贯通孔，因此流体不会回流到泵室。由此，专利文献1所示的流体控制装置实现整流功能。

4、专利文献1：日本特开2017-72140号公报

5、然而，在专利文献1所记载的流体控制装置中，在阀室内，流体的流路多次屈曲。因此，不容易获得高流量。

技术实现思路

1、因此，本专利技术的目的在于提供一种获得高流量的流体控制装置。

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【技术保护点】

1.一种流体控制装置，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

【技术特征摘要】

1.一种流体控制装置，其中，具备：

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：

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