【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及除泡，具体为一种电子化学品冷却除气泡装置及除泡方法。
技术介绍
1、电子化学品是电子工业生产中用到的化学原料和化学试剂的总称。它们广泛应用于半导体、显示面板、太阳能电池、印制电路板（pcb）等电子产品的生产制造过程中。电子化学品主要包括电子气体、电子化学试剂、电子特种气体、电子封装材料和电子浆料等。电子化学品的性能和品质对电子产品的生产过程和成品性能有着重要影响。随着电子工业的不断发展，对电子化学品的要求也越来越高，需要更高纯度、更低杂质、更环保的产品；
2、在电子化学品的生产过程中，液态化学品内的颗粒数是重要的指标，大多使用颗粒计数器对颗粒数进行检测，通过颗粒计数器发出的镭射光对液态化学品中的颗粒物进行数量计算；
3、但是在实际进行过程中，在一些化学品，如盐酸、氨水、双氧水等的生产过程中，由于其低饱和蒸汽压或易分解产生气体，氯化氢气体、氨气、氧气容易产生并夹杂在液态化学品中，还有溶解在液体中的氮气，二氧化碳等，这些存在的气泡会对颗粒计数器的统计造成失真，对电子化学品的研发、制造造成误判；
4、在对气泡的去除工作中，发现化学品随着温度变化，其内部的气泡也会随之变化，一般规律为液体温度越低则气泡越少，在此我们提出一种电子化学品冷却除气泡装置及除泡方法。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术提供一种电子化学品冷却除气泡装置及除泡方法，使样本液体通过送料管道进入冷却管内部，通过冷却管和冰水降低样本液体的温度，再通过冷却管进
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种电子化学品冷却除气泡装置及除泡方法，包括反应罐，所述反应罐内壁通过环形板分隔为外壳层和内腔室；
3、所述外壳层外壁两侧分别安装有进水管和回水管，且进水管和回水管皆贯穿外壳层，冰水通过进水管流入外壳层中再通过回水管排出；
4、所述内腔室中安装有气液分离器，且气液分离器中部安装有送料管道，顶端安装有排气管道，底端安装有颗粒计数器排水管，送料管道、排气管道和颗粒计数器排水管皆贯穿反应罐并进入内腔室中，样本液体通过送料管道进入气液分离器并通过颗粒计数器排水管排出，气体通过排气管道排出；
5、所述颗粒计数器排水管内设置有颗粒计数器。
6、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述送料管道贯穿反应罐并进入外壳层的一侧末端处连接设置有冷却管，冷却管与外壳层内的冰水接触以降低样本液体温度，冷却管的另一端贯穿环形板并进入内腔室中与气液分离器连通。
7、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述冷却管贴合并缠绕设置在环形板并外壁表面上。
8、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述进水管和回水管远离反应罐一侧末端连接安装有冷水机，吸收热量的水可导入冷水机中重新冷却。
9、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述送料管道上连通有纯水管道，送料管道关闭后纯水可通过纯水管道进入气液分离器。
10、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述排气管道上安装有流量控制阀门。
11、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述颗粒计数器排水管中安装的颗粒计数器型号为light house ls-20 液体微粒计数器。
12、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述送料管道和气液分离器皆使用pfa为原材料制作。
13、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述送料管道上固定安装有进料控制阀门。
14、本专利技术还提供一种技术方案，一种电子化学品冷却除气泡装置的除泡方法，具体步骤如下：
15、s1、开启左侧进水管阀门，使冰水进入装置的外壳层内；
16、s2、开启进料控制阀门，使样本液体通过送料管道进入冷却管内部，通过冷却管和冰水降低样本液体的温度，再通过冷却管进入气液分离器内部；
17、s3、开启右侧的回水管阀门，使吸收到热量的冰水通过回水管从外壳层内抽出，并导入冷水机中冷却，重新冷却的冰水回流至进水管内；
18、s4、开启流量控制阀门，气液分离器内的低温样本液体中溶解的气体析出，并通过气液分离器顶部的排气管道排出；
19、s5、待无气体从气液分离器中排出后，开启气液分离器底端的颗粒计数器排水管阀门和颗粒计数器，样本液体通过颗粒计数器排水管排出的同时，通过颗粒计数器对颗粒物进行数量计算；
20、s6、测试结束后，关闭左侧的进水管阀门，利用虹吸原理使外壳层中剩余的冰水从右侧回水管中排出；
21、s7. 关闭送料管道阀门，停止向气液分离器中输送样本液体，并切换为纯水管道，纯水通过纯水管道进入气液分离器中对残留样本液体进行冲洗，污水通过颗粒计数器排水管排出，冲洗完成后关闭纯水管道阀门，冷却除气泡作业结束。
22、与现有技术相比，本专利技术能达到的有益效果是：
23、通过设置的气液分离器等，有效避免了在一些化学品，由于其低饱和蒸汽压或易分解产生气体，氯化氢气体、氨气、氧气容易产生并夹杂在液态化学品中，还有溶解在液体中的氮气，二氧化碳等，这些存在的气泡会对颗粒计数器的统计造成失真，对电子化学品的研发、制造造成误判本专利技术使样本液体通过送料管道进入冷却管内部，通过冷却管和冰水降低样本液体的温度，再通过冷却管进入气液分离器内部，随着低温样本液体中溶解的气体析出，气泡对颗粒计数器的检测影响降低至最小，样本液体通过颗粒计数器排水管排出的同时，通过颗粒计数器对颗粒物进行数量计算，提高了装置的实用性。
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1.一种电子化学品冷却除气泡装置，包括反应罐（1），所述反应罐（1）内壁通过环形板（2）分隔为外壳层（3）和内腔室（4）,其特征在于：所述外壳层（3）外壁两侧分别安装有进水管（7）和回水管（6），进水管（7）和回水管（6）贯穿外壳层（3）形成冷水的流动通路；
2.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述送料管道（9）贯穿反应罐（1）并进入外壳层（3）的一侧末端处连接设置有冷却管（8），冷却管（8）与外壳层（3）内的冰水接触以降低样本液体温度，冷却管（8）的另一端贯穿环形板（2）并进入内腔室（4）中与气液分离器（5）连通。
3.根据权利要求2所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述冷却管（8）贴合并缠绕设置在环形板（2）并外壁表面上。
4.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述进水管（7）和回水管（6）远离反应罐（1）一侧末端连接安装有冷水机，进水管（7）和回水管（6）内的循环水水可导入冷水机中。
5.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述送
6.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述排气管道（10）上安装有流量控制阀门（14）。
7.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述颗粒计数器排水管（11）中安装的颗粒计数器（12）型号为Light house LS-20、Rion KS-42AF或RionKS-19F。
8.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述送料管道（9）和气液分离器（5）皆使用PFA为原材料制作。
9.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述送料管道（9）上固定安装有进料控制阀门（15）。
10.一种用于权利要求1-9中任一项所述的一种电子化学品冷却除气泡装置的除泡方法，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种电子化学品冷却除气泡装置，包括反应罐（1），所述反应罐（1）内壁通过环形板（2）分隔为外壳层（3）和内腔室（4）,其特征在于：所述外壳层（3）外壁两侧分别安装有进水管（7）和回水管（6），进水管（7）和回水管（6）贯穿外壳层（3）形成冷水的流动通路；
2.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述送料管道（9）贯穿反应罐（1）并进入外壳层（3）的一侧末端处连接设置有冷却管（8），冷却管（8）与外壳层（3）内的冰水接触以降低样本液体温度，冷却管（8）的另一端贯穿环形板（2）并进入内腔室（4）中与气液分离器（5）连通。
3.根据权利要求2所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述冷却管（8）贴合并缠绕设置在环形板（2）并外壁表面上。
4.根据权利要求1所述的一种电子化学品冷却除气泡装置，其特征在于：所述进水管（7）和回水管（6）远离反应罐（1）一侧末端连接安装有冷水机，进水管（7）和回水管（6）内的循环水水可导入冷水机中。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：魏浩，坎勇，姚玲，吕景琴，王宇明，
申请(专利权)人：江化微镇江电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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