本实用新型专利技术公开了一种电子化学品颗粒测试进料装置，包括缓冲罐、进料输送机构、加压除泡机构，进料输送机构设于缓冲罐的外侧，进料输送机构包括连接管，缓冲罐的外侧设有冷却盘管，缓冲罐远离连接管的一侧连接有出料管，加压除泡机构设于缓冲罐远离出料管的一侧，加压除泡机构包括输送加压管，输送加压管远离缓冲罐的一侧连接有加气控制阀体，加气控制阀体内设有进气阀板，进气阀板的一侧转动连接有阀板控制杆。本实用新型专利技术通过设置相应的电子化学品颗粒测试进料装置，通过对电子化学品进行加压与降温冷却，减小了电子化学品进料过程中产生的气泡，提高了对电子化学品进行颗粒测试的准确性。确性。确性。
【技术实现步骤摘要】
一种电子化学品颗粒测试进料装置
[0001]本技术属于电子化学品颗粒测试进料
，具体涉及一种电子化学品颗粒测试进料装置。
技术介绍
[0002]电子化学品又称为电子化工原料，一般是指电子工业使用的专用化学品和化工材料，按照用途不同可分成：基板、光致抗蚀剂、电镀化学品、封装材料、高纯试剂、特种气体、溶剂、清洗前掺杂剂、及辅助材料等几类。
[0003]电子化学品在生产加工过程中需要使用颗粒测试设备对电子化学品的颗粒进行检测，电子化学品颗粒是电子化学品重要的指标，对后续半导体的制造良率有着重要的影响，目前常见的颗粒测试设备在使用过程中向电子化学品物料照射红外线等激光，根据光散射激光光度计对照射激光的反射状态对电子化学品物料的颗粒度进行判断。
[0004]现有的电子化学品在进行颗粒测试时缺乏相应的进料装置，在进行颗粒测试时，电子化学品物料中含有较多的气泡，而气泡可以对电子化学品的颗粒测试设备发出的照射激光进行折射，使得电子化学品的颗粒测试设备容易将液体电子化学品中含有的气泡误判为颗粒，降低了对电子化学品进行颗粒测试的精确度。
[0005]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种电子化学品颗粒测试进料装置。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种电子化学品颗粒测试进料装置，以解决现有技术中电子化学品颗粒测试过程中缺乏相应的进料装置的问题。
[0007]为了实现上述目的，本技术一实施例提供的技术方案如下：
[0008]一种电子化学品颗粒测试进料装置，包括：缓冲罐、进料输送机构、加压除泡机构；
[0009]所述进料输送机构设于所述缓冲罐的外侧，所述进料输送机构包括连接管，所述缓冲罐的外侧设有冷却盘管，所述缓冲罐远离连接管的一侧连接有出料管；
[0010]所述加压除泡机构设于所述缓冲罐远离出料管的一侧，所述加压除泡机构包括输送加压管，所述输送加压管远离缓冲罐的一侧连接有加气控制阀体，所述加气控制阀体内设有进气阀板，所述进气阀板的一侧转动连接有阀板控制杆。
[0011]进一步地，所述连接管远离缓冲罐的一侧设有进料管，便于通过进料管向缓冲罐内添加需要进行测试的电子化学品，所述进料管与连接管之间连接有电子化学品输送阀体，电子化学品输送阀体起到连通进料管与连接管的作用，便于通过控制电子化学品输送阀体的导通状态对进料管与连接管的导通状态起到控制作用，所述电子化学品输送阀体内设有控制阀板，便于通过控制阀板的移动对电子化学品输送阀体的导通状态起到控制作用，所述控制阀板的一侧转动连接有调节螺杆，所述调节螺杆与电子化学品输送阀体螺纹连接，便于通过旋转调节螺杆的方式对控制阀板起到移动控制的作用。
[0012]进一步地，所述出料管远离缓冲罐的一侧设有导引管，便于通过导引管对缓冲罐
内的电子化学品起到输送导出的作用，所述导引管与出料管之间连接有进颗粒仪阀体，进颗粒仪阀体起到连通导引管与出料管的作用，所述进颗粒仪阀体内设有封堵阀板，便于通过封堵阀板对进颗粒仪阀体的导通状态起到控制作用，从而便于对导引管的物料输出状态起到控制作用，所述封堵阀板的一侧转动连接有控制螺杆，所述控制螺杆与进颗粒仪阀体螺纹连接，便于通过旋转控制螺杆的方式对封堵阀板起到移动控制的作用。
[0013]进一步地，所述加气控制阀体与输送加压管之间连接有过滤器，过滤器对气体过滤网起到支撑限位的作用，所述过滤器内设有气体过滤网，便于通过气体过滤网对过滤器内输送的气体起到过滤的作用。
[0014]进一步地，所述加气控制阀体远离过滤器的一侧连接有减压阀体，减压阀体起到连通进气连接管与加气控制阀体的作用，所述减压阀体内设有阀芯，便于通过阀芯的移动对减压阀体的导通输送状态起到控制作用，所述阀芯与减压阀体之间连接有支撑弹簧，支撑弹簧起到连接阀芯与减压阀体的作用，便于通过支撑弹簧的收缩与复位对阀芯起到支撑限位的作用。
[0015]进一步地，所述阀芯远离支撑弹簧的一侧设有调压弹簧，便于通过控制调压弹簧的压缩状态对减压阀体的减压状态起到控制作用，所述调压弹簧与阀芯之间连接有减压阀膜，通过减压阀膜在减压阀体内流体的作用下移动的方式对减压阀体起到压力平衡的作用，所述调压弹簧远离减压阀膜的一侧连接有调压阀杆，所述调压阀杆与减压阀体螺纹连接，便于通过控制调压阀杆的旋转对调压弹簧的压缩状态起到控制作用，所述减压阀体远离加气控制阀体的一端连接有进气连接管，便于通过进气连接管向减压阀体内输送加压气体。
[0016]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0017]本技术通过设置相应的电子化学品颗粒测试进料装置，通过对电子化学品进行加压与降温冷却，减小了电子化学品进料过程中产生的气泡，提高了对电子化学品进行颗粒测试的准确性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术一实施例中一种电子化学品颗粒测试进料装置的立体图；
[0020]图2为本技术一实施例中一种电子化学品颗粒测试进料装置的部分结构示意图；
[0021]图3为图2中A处结构示意图；
[0022]图4为图2中B处结构示意图。
[0023]图中：1.缓冲罐、2.进料输送机构、201.连接管、202.冷却盘管、203.出料管、204.进料管、205.电子化学品输送阀体、206.控制阀板、207.调节螺杆、208.导引管、209.进颗粒仪阀体、210.封堵阀板、211.控制螺杆、3.加压除泡机构、301.输送加压管、302.加气控制阀体、303.进气阀板、304.阀板控制杆、305.过滤器、306.气体过滤网、307.减压阀体、308.阀
芯、309.支撑弹簧、310.调压弹簧、311.减压阀膜、312.调压阀杆、313.进气连接管。
具体实施方式
[0024]以下将结合附图所示的各实施方式对本技术进行详细描述。但该等实施方式并不限制本技术，本领域的普通技术人员根据该等实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。
[0025]本技术公开了一种电子化学品颗粒测试进料装置，参图1
‑
图4所示，包括缓冲罐1、进料输送机构2、加压除泡机构3。
[0026]具体地，缓冲罐1的内侧设有聚四氟乙烯内衬，通过在缓冲罐1的内壁设置聚四氟乙烯内衬可以提高缓冲罐1的使用安全性，同时，聚四氟乙烯具有摩擦系数极低的情况，通过设置聚四氟乙烯内衬可以减小缓冲罐1在使用过程中内壁上粘附有电子化学品物料的情况。
[0027]优选地，缓冲罐1选用防爆罐，便于提高电子化学品的进料稳定性。
[0028]参图1所示，进料输送机构2设于缓冲本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子化学品颗粒测试进料装置，其特征在于，包括：缓冲罐(1)；进料输送机构(2)，设于所述缓冲罐(1)的外侧，所述进料输送机构(2)包括连接管(201)，所述缓冲罐(1)的外侧设有冷却盘管(202)，所述缓冲罐(1)远离连接管(201)的一侧连接有出料管(203)；加压除泡机构(3)，设于所述缓冲罐(1)远离出料管(203)的一侧，所述加压除泡机构(3)包括输送加压管(301)，所述输送加压管(301)远离缓冲罐(1)的一侧连接有加气控制阀体(302)，所述加气控制阀体(302)内设有进气阀板(303)，所述进气阀板(303)的一侧转动连接有阀板控制杆(304)。2.根据权利要求1所述的一种电子化学品颗粒测试进料装置，其特征在于，所述连接管(201)远离缓冲罐(1)的一侧设有进料管(204)，所述进料管(204)与连接管(201)之间连接有电子化学品输送阀体(205)，所述电子化学品输送阀体(205)内设有控制阀板(206)，所述控制阀板(206)的一侧转动连接有调节螺杆(207)，所述调节螺杆(207)与电子化学品输送阀体(205)螺纹连接。3.根据权利要求1所述的一种电子化学品颗粒测试进料装置，其特征在于，所述出料管(203)远离缓冲罐(1)的一侧设有导引管(208)，所述导引管...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚玲，魏浩，
申请(专利权)人：江化微镇江电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。