【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于纤维丝镀膜设备的装置。
技术介绍
1、在现有的纤维丝磁控溅射镀膜设备中,主要是通过2个平面阴极相对安装的结构来实现。其主要缺点为溅射的时候,很多溅射物会溅射到其它地方,导致腔体污染很快,更换周期短,增加了生产成本。
技术实现思路
1、本技术针对上述问题,提供一种用于纤维丝镀膜设备的装置,能最大限度提高靶材利用率,并有效的提高靶材的溅射效率。
2、为此,本技术采取如下技术方案:一种用于纤维丝镀膜设备的装置,包括壳体,壳体的两端安装固定法兰,其特征在于所述的壳体内设置桶状结构的阴极体组件,所述的阴极体组件包括磁轭,磁轭上均匀间隔布置多个磁铁,相邻布置的两个磁铁磁极相反,所述的纤维丝布置在阴极体组件的中心区域,从入口法兰处穿过阴极体组件,从出口法兰处引出。
3、作为优选,所述桶状结构的截面呈跑道形。
4、作为优选,所述磁轭的内壁贴靠设置冷却水路板,所述的冷却水路板连通冷却水嘴,所述的冷却水嘴穿出外露于固定法兰。
5、作为优选,所述的冷却水路板的内侧布置桶状的靶材。
6、作为优选,所述靶材的内侧布置铜背板。
7、作为优选,所述的阴极体组件整体加上300-500v的负电压。
8、作为优选,所述的壳体为不锈钢材质。
9、本技术的有益效果如下:通过磁场模拟,将平面阴极的磁场重新设定与定义,建立新的磁场模式,采用桶状的阴极结构,有效了避免了靶材的浪费,多个环状的溅射等离子体发生与传统的
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1.一种用于纤维丝镀膜设备的装置,包括壳体(4),壳体的两端安装固定法兰,其特征在于所述的壳体(4)内设置桶状结构的阴极体组件,所述的阴极体组件包括磁轭(5),磁轭(5)上均匀间隔布置多个磁铁(6),相邻布置的两个磁铁(6)磁极相反,所述的纤维丝(10)布置在阴极体组件的中心区域,从入口法兰处穿过阴极体组件,从出口法兰处引出。
2.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述桶状结构的截面呈跑道形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述磁轭(5)的内壁贴靠设置冷却水路板(7),所述的冷却水路板连通冷却水嘴(3),所述的冷却水嘴穿出外露于固定法兰。
4.根据权利要求3所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述冷却水路板(7)的内侧布置桶状的靶材(1)。
5.根据权利要求4所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述靶材(1)的内侧布置铜背板(8)。
6.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述的阴极体组件整体加上300-500V的
7.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述的壳体(4)为不锈钢材质。
...【技术特征摘要】
1.一种用于纤维丝镀膜设备的装置,包括壳体(4),壳体的两端安装固定法兰,其特征在于所述的壳体(4)内设置桶状结构的阴极体组件,所述的阴极体组件包括磁轭(5),磁轭(5)上均匀间隔布置多个磁铁(6),相邻布置的两个磁铁(6)磁极相反,所述的纤维丝(10)布置在阴极体组件的中心区域,从入口法兰处穿过阴极体组件,从出口法兰处引出。
2.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述桶状结构的截面呈跑道形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置,其特征在于所述磁轭(5)的内壁贴靠设置冷却水路板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:文继志,高畅,
申请(专利权)人:晓睿真空设备嘉兴有限公司,
类型:新型
国别省市:
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