【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于纤维丝镀膜设备的装置。
技术介绍
1、在现有的纤维丝磁控溅射镀膜设备中，主要是通过2个平面阴极相对安装的结构来实现。其主要缺点为溅射的时候，很多溅射物会溅射到其它地方，导致腔体污染很快，更换周期短，增加了生产成本。
技术实现思路
1、本技术针对上述问题，提供一种用于纤维丝镀膜设备的装置，能最大限度提高靶材利用率，并有效的提高靶材的溅射效率。
2、为此，本技术采取如下技术方案：一种用于纤维丝镀膜设备的装置，包括壳体，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭，磁轭上均匀间隔布置多个磁铁，相邻布置的两个磁铁磁极相反，所述的纤维丝布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。
3、作为优选，所述桶状结构的截面呈跑道形。
4、作为优选，所述磁轭的内壁贴靠设置冷却水路板，所述的冷却水路板连通冷却水嘴，所述的冷却水嘴穿出外露于固定法兰。
5、作为优选，所述...
【技术保护点】
1.一种用于纤维丝镀膜设备的装置，包括壳体(4)，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体(4)内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭(5)，磁轭(5)上均匀间隔布置多个磁铁(6)，相邻布置的两个磁铁(6)磁极相反，所述的纤维丝(10)布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。
2.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述桶状结构的截面呈跑道形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述磁轭(5)的内壁贴靠设置冷却水路板(7)，所述的冷却水...
【技术特征摘要】
1.一种用于纤维丝镀膜设备的装置，包括壳体(4)，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体(4)内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭(5)，磁轭(5)上均匀间隔布置多个磁铁(6)，相邻布置的两个磁铁(6)磁极相反，所述的纤维丝(10)布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。
2.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述桶状结构的截面呈跑道形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述磁轭(5)的内壁贴靠设置冷却水路板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：文继志，高畅，
申请(专利权)人：晓睿真空设备嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：
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