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本技术涉及一种用于纤维丝镀膜设备的装置。现有的纤维丝磁控溅射镀膜设备中，很多溅射物会溅射到其它地方，导致腔体污染很快，更换周期短，增加了生产成本。本技术包括壳体，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体内设置桶状结构的阴极体组件，所述的...
该专利属于晓睿真空设备（嘉兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晓睿真空设备（嘉兴）有限公司授权不得商用。

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