【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及中转设备领域，尤其涉及一种中转装置和方法及其形成的化学气相沉积设备。
技术介绍
1、目前金属有机化合物化学气相沉积(mocvd)工艺段在半导体行业制程中是由人工搬运石墨盘放入mocvd设备中，当石墨盘或者化学气相沉积设备较多时，整个搬运中转工作对人工成本、劳动强度、时间效率都是一个挑战。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本专利技术的目的在于提供一种中转装置和方法及其形成的化学气相沉积设备，采用本申请中转装置可以实现从载物车到装载台的工件自动中转，能够提高中转效率。
2、为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种中转装置，用于将载物车中的工件转移至化学气相沉积设备的载物台中，包括：
3、机架；
4、位于机架下端的调整组件，用于对化学气相沉积设备中的装载台进行定位调整；
5、位于机架上端的缓存盘；
6、位于缓存盘侧边的抓取组件，所述抓取组件的下端设置有气缸三点抓手；
7、所述载物车将工件移动至中转装置侧边，并将工件转移至所述缓存盘，所述化学气相沉积设备中装载台伸出至所述调整组件，所述气缸三点抓手抓取所述缓存盘中工件，并放置在所述装载台中，所述装载台收回，完成化学气相沉积设备的上料。
8、进一步地，所述机架下端还包括定位组件，所述定位组件用于对载物车进行定位。
9、进一步地，还包括视觉检测单元和控制单元，所述控制单元同时连接所述
10、进一步地，所述视觉检测单元的两侧设置有补光灯。
11、进一步地，所述装载台设置有定位销，当所述装载台伸出至所述调整组件时，所述定位销位于所述视觉检测单元的检测范围内。
12、进一步地，所述载物车包括驱动单元，所述驱动单元用于对所述载物车中工件进行三维空间的位置调整。
13、进一步地，所述载物车的顶部设置有置物架，所述置物架内侧设置有平行的置物板，所述工件的两端放置在置物板中。
14、进一步地，所述机架外侧覆盖有防尘洁净罩。
15、一种化学气相沉积设备，包括上述的中转设备。
16、一种进行工件中转的方法，其特征在于，包括如下步骤：
17、s01：载物车将工件移动至中转装置侧边，并将工件转移至缓存盘；
18、s02：化学气相沉积设备中装载台伸出至调整组件；
19、s03：气缸三点抓手抓取缓存盘中工件，并放置在所述装载台中；
20、s04：所述装载台收回，完成化学气相沉积设备的上料。
21、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请中载物车将工件移动至中转装置侧边，并将工件转移至缓存盘，化学气相沉积设备中装载台伸出至调整组件，气缸三点抓手抓取缓存盘中工件，并放置在装载台中，装载台收回，完成化学气相沉积设备的上料；本申请能够将化学气相沉积中的装载台以及载物车中的工件均关联至中装装置中，在中转装置中实现工件的上料，该装置结构简单，上料效率高，避免了人工搬运的各种缺陷，推进了化学气相沉积工艺的进一步发展。
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1.一种中转装置，用于将载物车中的工件转移至化学气相沉积设备的载物台中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，所述机架下端还包括定位组件，所述定位组件用于对载物车进行定位。
3.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，还包括视觉检测单元和控制单元，所述控制单元同时连接所述视觉检测单元、抓取组件和调整组件，所述视觉检测单元用于检测所述缓存盘中工件是否到位，以及检测所述装载台是否平行固定至所述调整组件。
4.根据权利要求3所述的一种中转装置，其特征在于，所述视觉检测单元的两侧设置有补光灯。
5.根据权利要求3所述的一种中转装置，其特征在于，所述装载台设置有定位销，当所述装载台伸出至所述调整组件时，所述定位销位于所述视觉检测单元的检测范围内。
6.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，所述载物车包括驱动单元，所述驱动单元用于对所述载物车中工件进行三维空间的位置调整。
7.根据权利要求6所述的一种中转装置，其特征在于，所述载物车的顶部设置有置物架，所述置物架内侧设置有平行
8.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，所述机架外侧覆盖有防尘洁净罩。
9.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-8任意一项所述的中转设备。
10.一种采用权利要求1所述的中转装置进行工件中转的方法，其特征在于，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种中转装置，用于将载物车中的工件转移至化学气相沉积设备的载物台中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，所述机架下端还包括定位组件，所述定位组件用于对载物车进行定位。
3.根据权利要求1所述的一种中转装置，其特征在于，还包括视觉检测单元和控制单元，所述控制单元同时连接所述视觉检测单元、抓取组件和调整组件，所述视觉检测单元用于检测所述缓存盘中工件是否到位，以及检测所述装载台是否平行固定至所述调整组件。
4.根据权利要求3所述的一种中转装置，其特征在于，所述视觉检测单元的两侧设置有补光灯。
5.根据权利要求3所述的一种中转装置，其特征在于，所述装载台设置有定位销，当所述装...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴君，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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