System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 石英舟精密组装机制造技术_技高网

石英舟精密组装机制造技术

技术编号:39966422 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-09 00:26
本发明专利技术提供石英舟精密组装机,涉及石英舟精密组装机技术领域。该石英舟精密组装机,包括设备基体、后板、两个槽棒托臂与同步传动连杆,所述设备基体上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二底座,所述第二底座上端面固定设置有固定侧高精度主轴箱,所述设备基体上端面一侧靠后侧位置固定设置有X轴轨道,所述X轴轨道上端面滑动设置有第一底座,所述第一底座上端面固定设置有移动侧高精度主轴箱,所述设备基体上端面前侧靠另一侧位置固定设置有高分辨率角度仪。通过对石英舟操作人员通过培训后,可一名专业操作者可进行多个品类的石英舟焊接操作,大幅降低了专用人员的数量,大幅减少了专用治具的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英舟精密组装机,具体为石英舟精密组装机。


技术介绍

1、石英舟精密组装机是一种专门用于组装石英舟的设备,它能够精确地将石英舟的各个部件组装在一起,确保其密封性和稳定性,这种机器通常配有精密的控制系统和自动化装置,能够提高生产效率并保证产品质量,石英舟精密组装机在化学实验室、医疗设备制造等领域都有广泛的应用。

2、现有的石英舟精密组装机在进行使用时,由于石英舟品种种类较多,需要专业的石英焊接技术人员数量较多,同时每种产品都需要设计并制作相关的专用工艺治具,导致石英舟生产效率低,生产周期长。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本专利技术提供了石英舟精密组装机,解决了需要专业的石英焊接技术人员数量较多,生产效率低,生产周期长的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:石英舟精密组装机,包括设备基体、后板、两个槽棒托臂与同步传动连杆,所述设备基体上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二底座,所述第二底座上端面固定设置有固定侧高精度主轴箱,所述设备基体上端面一侧靠后侧位置固定设置有x轴轨道,所述x轴轨道上端面滑动设置有第一底座,所述第一底座上端面固定设置有移动侧高精度主轴箱,所述设备基体上端面前侧靠另一侧位置固定设置有高分辨率角度仪,所述设备基体另一侧端面靠中间位置固定设置有zy轴设备本体;

5、所述zy轴设备本体上端面靠中间位置固定设置有z轴伺服驱动电机及减速器,所述zy轴设备本体上端面靠前侧位置固定设置有支撑杆,所述支撑板下端面靠前侧位置固定设置有伺服驱动控制器,所述后板上端面固定设置有a轴光栅尺,所述设备基体上端面后侧靠另一侧位置固定设置有x轴y轴光栅显示器,所述x轴轨道一侧端面靠前侧位置转动设置有第一转盘。

6、优选的,所述设备基体上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二连接器,所述第二连接器通过第一皮带与固定侧高精度主轴箱连接,所述第二连接器前端面转动设置有第二转盘,所述第二连接器与同步传动连杆前端连接。

7、优选的,所述设置基体上端面一侧靠后侧位置设置有第一连接器,所述第一连接器通过第二皮带与移动侧高精度主轴箱连接,所述第一连接器与同步传动连杆后端连接。

8、优选的,所述zy轴设备主体一侧端面靠前侧与后侧位置均固定设置有z轴轨道,两个所述z轴轨道一侧端面之间滑动设置有y轴轨道,所述y轴轨道上端面滑动设置有第三底座,所述后板轨道设置在第三底座上端面。

9、优选的,所述后板一侧端面靠上侧与下侧位置均固定设置有后轨道,两个所述槽棒托臂分别滑动设置在两个后轨道之间。

10、优选的,所述固定侧高精度主轴箱后端面固定设置有第二卡盘,所述移动侧高精度主轴箱前端面固定设置有第一卡盘。

11、优选的,所述设备基体外端面开设有多个孔洞。

12、工作原理:使用时在x轴上分别设有固定端夹持部分,及移动端夹持部分,移动端通过滚球丝杆与丝母进行传动移动夹持床头,行程为+200至+2100,分别将天板及受台夹持在设备两侧的高精度夹盘上,保证天板及受台的同轴度与基面的平行度及相对位置关系,夹盘爪上固定与石英件接触的石墨材质的垫块保证石英件不受金属损伤,在z轴与y轴上设计夹持槽棒部分的两个高精度托臂,保证槽棒固定在托臂上其圆心轴线与设备x轴中心线是平行状态,通过编写好的石英舟产品上各槽棒与天板及受台的位置数据,旋转固定端及移动端的角度同步连杆,在角度显视器上的数据上达到目标位置数值,通过数控系统的手动脉冲器对z,y两轴进行坐标位置的移动,使槽棒到达工艺流程上编写的坐标位置,通过比照样块或检验工具等对组对的石英舟进行尺寸测量,确认正确后点焊槽棒到天板及受台上,后续槽棒点焊步骤与流程一致。

13、(三)有益效果

14、本专利技术提供了石英舟精密组装机。具备以下有益效果:

15、本专利技术提供了石英舟精密组装机,用于半导体行业的石英舟总装配工序,在设备两侧的高精度夹持工装分别夹持圆盘类工件(天板及受台),旋转按产品工艺流程计算并设置好的角度值,按数控坐标数据调整槽棒托臂的坐标位置x,y,z的数值,对石英舟进行点焊对型焊接,设备各部位传动精度及相关型位精度均加工调试在0.03mm范围以内,可保证多种型号石英舟点焊接的焊接精度。本设备可以焊接长2000mm,直径550mm范围内的95%以上通用型石英舟(除特殊型状外),从而改变了之前一个品类的石英舟只能使用一个品类的焊接专用治具,在治具种类上进行了大范围的缩减,对石英舟操作人员通过培训后,可一名专业操作者可进行多个品类的石英舟焊接操作,大幅降低了专用人员的数量,大幅减少了专用治具的成本,提高工作效率80%以上。

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【技术保护点】

1.石英舟精密组装机,包括设备基体(1)、后板(3)、两个槽棒托臂(26)与同步传动连杆(19),其特征在于:所述设备基体(1)上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二底座(20),所述第二底座(20)上端面固定设置有固定侧高精度主轴箱(2),所述设备基体(1)上端面一侧靠后侧位置固定设置有X轴轨道(16),所述X轴轨道(16)上端面滑动设置有第一底座(14),所述第一底座(14)上端面固定设置有移动侧高精度主轴箱(13),所述设备基体(1)上端面前侧靠另一侧位置固定设置有高分辨率角度仪(4),所述设备基体(1)另一侧端面靠中间位置固定设置有ZY轴设备本体(7);

2.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述设备基体(1)上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二连接器(21),所述第二连接器(21)通过第一皮带(23)与固定侧高精度主轴箱(2)连接,所述第二连接器(21)前端面转动设置有第二转盘(22),所述第二连接器(21)与同步传动连杆(19)前端连接。

3.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述设置基体上端面一侧靠后侧位置设置有第一连接器(15),所述第一连接器(15)通过第二皮带(27)与移动侧高精度主轴箱(13)连接,所述第一连接器(15)与同步传动连杆(19)后端连接。

4.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述ZY轴设备主体一侧端面靠前侧与后侧位置均固定设置有Z轴轨道(10),两个所述Z轴轨道(10)一侧端面之间滑动设置有Y轴轨道(29),所述Y轴轨道(29)上端面滑动设置有第三底座(28),所述后板(3)轨道设置在第三底座(28)上端面。

5.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述后板(3)一侧端面靠上侧与下侧位置均固定设置有后轨道(25),两个所述槽棒托臂(26)分别滑动设置在两个后轨道(25)之间。

6.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述固定侧高精度主轴箱(2)后端面固定设置有第二卡盘(24),所述移动侧高精度主轴箱(13)前端面固定设置有第一卡盘(12)。

7.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述设备基体(1)外端面开设有多个孔洞(17)。

...

【技术特征摘要】

1.石英舟精密组装机,包括设备基体(1)、后板(3)、两个槽棒托臂(26)与同步传动连杆(19),其特征在于:所述设备基体(1)上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二底座(20),所述第二底座(20)上端面固定设置有固定侧高精度主轴箱(2),所述设备基体(1)上端面一侧靠后侧位置固定设置有x轴轨道(16),所述x轴轨道(16)上端面滑动设置有第一底座(14),所述第一底座(14)上端面固定设置有移动侧高精度主轴箱(13),所述设备基体(1)上端面前侧靠另一侧位置固定设置有高分辨率角度仪(4),所述设备基体(1)另一侧端面靠中间位置固定设置有zy轴设备本体(7);

2.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述设备基体(1)上端面一侧靠前侧位置固定设置有第二连接器(21),所述第二连接器(21)通过第一皮带(23)与固定侧高精度主轴箱(2)连接,所述第二连接器(21)前端面转动设置有第二转盘(22),所述第二连接器(21)与同步传动连杆(19)前端连接。

3.根据权利要求1所述的石英舟精密组装机,其特征在于:所述设置基体上端面一侧靠...

【专利技术属性】
技术研发人员:喻永前
申请(专利权)人:沈阳凯坤机械设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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