【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵，具体为一种多级罗茨真空泵机组。
技术介绍
1、多级罗茨泵机组相比于传统的真空泵机组，上泵为罗茨泵，下泵为罗茨和爪型转子组合，多级罗茨真空泵机组转子轴为一体加工，提高装配效率和轴强度。同时罗茨泵的排除粉尘的能力更强，可靠性更高，寿命更长。
2、现有技术的不足：
3、在半导体工业中，不同工艺对泵性能要求不同，为满足半导体使用，需要扩展泵的型号。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种多级罗茨真空泵机组，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种多级罗茨真空泵机组，包括机壳，所述机壳内部的上下端分别设置有上泵组件和下泵组件，所述机壳内部的一侧设置有用于上泵组件和下泵组件相互配合的辅助装置。
3、作为本专利技术的进一步改进，所述上泵组件包括有上多级转子，所述上多级转子叶状部为一个“8”字、一个3叶或2个3叶中的任意一种。
4、作为本专利技术的进一步改进，所述下泵组件...
【技术保护点】
1.一种多级罗茨真空泵机组，包括机壳（1），其特征在于：所述机壳（1）内部的上下端分别设置有上泵组件（2）和下泵组件（3），所述机壳（1）内部的一侧设置有用于上泵组件（2）和下泵组件（3）相互配合的辅助装置（4）。
2.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述上泵组件（2）包括有上多级转子（21），所述上多级转子（21）叶状部为一个“8”字、一个3叶或2个3叶中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述下泵组件（3）包括有下多级转子（31），所述下多级转子（3）叶状部为2-5叶，3-7级。
4.根...
【技术特征摘要】
1.一种多级罗茨真空泵机组，包括机壳（1），其特征在于：所述机壳（1）内部的上下端分别设置有上泵组件（2）和下泵组件（3），所述机壳（1）内部的一侧设置有用于上泵组件（2）和下泵组件（3）相互配合的辅助装置（4）。
2.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述上泵组件（2）包括有上多级转子（21），所述上多级转子（21）叶状部为一个“8”字、一个3叶或2个3叶中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述下泵组件（3）包括有下多级转子（31），所述下多级转子（3）叶状部为2-5叶，3-7级。
4.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述上泵组件（2）和下泵组件（3）还包括有转轴和电机转子腔室。
5.根据权利要求2和3所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述上多级转子（21）和下多级转子（31）叶状部和...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光玉，孔祥玲，雷震霖，王冰冰，郝昌龙，
申请(专利权)人：中科仪南通半导体设备有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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