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本发明公开了一种多级罗茨真空泵机组，包括机壳，所述机壳内部的上下端分别设置有上泵组件和下泵组件，所述机壳内部的一侧设置有用于上泵组件和下泵组件相互配合的辅助装置。本发明结构简单，设计合理，上泵转子不同叶状部和级数与下泵转子不同叶状部和级数的...
该专利属于中科仪（南通）半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科仪（南通）半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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