【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆检测，尤其是一种晶圆传输标准机械接口装载装置。
技术介绍
1、半导体设备是在半导体制程中用于晶圆精密加工和测量的仪器。由于晶圆在使用晶圆卡匣(wafer cassette)传送过程中完全裸露在开放的环境中，易受到外界环境中悬浮颗粒、水汽等污染，导致晶圆良率下降、检测设备内部脏污等问题，越来越多的晶圆传送工作要求使用晶圆传送盒来对晶圆进行密封保护。
2、为此，我们提出一种晶圆传输标准机械接口装载装置。
技术实现思路
1、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种晶圆传输标准机械接口装载装置，从而提供了一个超洁净的小环境，具有受控的气流、压力及粒子数量，能够有效避免晶圆及检测设备污染，同时也降低了对外部环境的要求。
2、本技术所采用的技术方案如下：
3、一种晶圆传输标准机械接口装载装置，应用于晶圆盒的检测中，晶圆盒包括晶盒底座和晶盒外壳，晶盒底座和晶盒外壳之间能够进行锁定与解锁，包括：
4、支撑底座组件；
5、解锁平移组件，设置在支撑底座组件内，用于解锁晶盒底座和晶盒外壳并固定晶盒底座；
6、升降框组件，升降设置在解锁平移组件上方，升降框组件包括托举平台、旋转挡片和旋转气缸，旋转挡片转动设置在托举平台上，通过旋转气缸带动旋转挡片转动而压住固定解锁后的晶盒外壳；
7、升降组件，设置在升降框组件一侧，用于带动升降框组件升降；
8、风琴页，一端设置在支撑底座组件上，且另一端设置在
9、其进一步特征在于：
10、还包括背板、限位导向组件和窗口遮板，窗口遮板设置在升降框组件上，用于隔绝取片窗口与外部之间的环境，支撑底座组件设置在背板的底部，升降组件和限位导向组件设置在背板上。
11、所述支撑底座组件包括支撑底座，支撑底座顶部设置有按键和指示灯，支撑底座底部设置有控制板、电磁阀组件、开关和电源接口。
12、所述解锁平移组件包括晶盒放置平台、限位销钉、解锁组件、旋转解锁气缸，限位销钉设有多个，多个限位销钉间隔设置在晶盒放置平台顶部，用于对晶盒底座进行限位，解锁组件转动设置在晶盒放置平台上，把晶圆盒放置到晶盒放置平台上后，解锁组件进入晶盒底座底部匹配的槽内，通过旋转解锁气缸进行驱动解锁组件，完成晶盒底座与晶盒外壳的结构分离，同时完成对晶盒底座的固定。
13、所述解锁平移组件还包括平移气缸、平移导轨、平移滑块和缓冲挡块，平移气缸会带动晶盒放置平台向前移动，平移导轨和平移滑块相互配合使得晶盒放置平台运动更加平稳。
14、所述升降框组件还包括对射传感器一和凸出检测传感器，通过凸出检测传感器检测是否有晶圆凸出晶圆卡匣，通过对射传感器一检测晶圆位置是否异常。
15、所述升降组件包括升降气缸、升降导轨、固定座、升降连接外壳、升降滑块，升降气缸固定在固定座上，固定座固定在背板上，升降导轨也固定在固定座上，且与升降气缸平行设置，升降滑块匹配设置在升降导轨上，升降滑块与升降连接外壳固定连接。
16、所述升降组件还包括对射传感器二、齿条和连接块，对射传感器二设置在升降连接外壳上，齿条设置在升降导轨上且设有槽口，升降连接外壳通过连接块与托举平台固定连接。
17、所述限位导向组件包括限位板、导向槽、限位导向轮，导向槽设置在限位板上，限位导向轮活动设置在导向槽内，且限位导向轮通过转轴设置在托举平台上，用于对托举平台进行限位及导向。
18、本技术的有益效果如下：
19、本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过晶盒外壳、风琴页和支撑底座组成一个超洁净的小环境，具有受控的气流、压力及粒子数量，能够有效避免晶圆及检测设备污染，同时也降低了对外部环境的要求。
20、同时，本技术还具备如下优点：
21、(1)通过设置平移气缸、平移导轨和平移滑块，带动晶盒放置平台向前移动，进而带动晶圆卡匣向前移动，使晶圆卡匣靠近设备内部的机械手臂，便于机械手臂从晶圆卡匣中取片。
22、(2)整个装载装置，结构紧凑，占用空间小，安装方便，大小适中，不占空间。
23、(3)通过设置限位导向组件，限位导向轮活动设置在导向槽内，且限位导向轮通过转轴设置在托举平台上，用于对托举平台进行限位及导向。
24、(4)通过设置凸出检测传感器和对射传感器一，当托举平台向上运动时，凸出检测传感器开始工作，当信号被遮挡时，一个指示灯会亮起，提示有晶圆凸出晶圆卡匣。当托举平台向上运动时，对射传感器一开始工作，若出现晶圆位置异常时，另一个指示灯会亮起，提示有晶圆位置异常。
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1.一种晶圆传输标准机械接口装载装置，应用于晶圆盒(8)的检测中，晶圆盒(8)包括晶盒底座(801)和晶盒外壳(802)，晶盒底座(801)和晶盒外壳(802)之间能够进行锁定与解锁，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：还包括背板(1)、限位导向组件(6)和窗口遮板(7)，窗口遮板(7)设置在升降框组件(4)上，用于隔绝取片窗口与外部之间的环境，支撑底座组件(2)设置在背板(1)的底部，升降组件(5)和限位导向组件(6)设置在背板(1)上。
3.如权利要求1所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述支撑底座组件(2)包括支撑底座(201)，支撑底座(201)顶部设置有按键(206)和指示灯(207)，支撑底座(201)底部设置有控制板(202)、电磁阀组件(203)、开关(204)和电源接口(205)。
4.如权利要求2所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述解锁平移组件(3)包括晶盒放置平台(301)、限位销钉(302)、解锁组件(303)、旋转解锁气缸(304
5.如权利要求4所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述解锁平移组件(3)还包括平移气缸(306)、平移导轨(307)、平移滑块(308)和缓冲挡块(309)，平移气缸(306)会带动晶盒放置平台(301)向前移动，平移导轨(307)和平移滑块(308)相互配合使得晶盒放置平台(301)运动更加平稳。
6.如权利要求2所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述升降框组件(4)还包括对射传感器一(404)和凸出检测传感器(405)，通过凸出检测传感器(405)检测是否有晶圆凸出晶圆卡匣(803)，通过对射传感器一(404)检测晶圆位置是否异常。
7.如权利要求2所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述升降组件(5)包括升降气缸(501)、升降导轨(502)、固定座(503)、升降连接外壳(504)、升降滑块(505)，升降气缸(501)固定在固定座(503)上，固定座(503)固定在背板(1)上，升降导轨(502)也固定在固定座(503)上，且与升降气缸(501)平行设置，升降滑块(505)匹配设置在升降导轨(502)上，升降滑块(505)与升降连接外壳(504)固定连接。
8.如权利要求7所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述升降组件(5)还包括对射传感器二(506)、齿条(507)和连接块(508)，对射传感器二(506)设置在升降连接外壳(504)上，齿条(507)设置在升降导轨(502)上且设有槽口，升降连接外壳(504)通过连接块(508)与托举平台(401)固定连接。
9.如权利要求2所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述限位导向组件(6)包括限位板(601)、导向槽(602)、限位导向轮(603)，导向槽(602)设置在限位板(601)上，限位导向轮(603)活动设置在导向槽(602)内，且限位导向轮(603)通过转轴设置在托举平台(401)上，用于对托举平台(401)进行限位及导向。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输标准机械接口装载装置，应用于晶圆盒(8)的检测中，晶圆盒(8)包括晶盒底座(801)和晶盒外壳(802)，晶盒底座(801)和晶盒外壳(802)之间能够进行锁定与解锁，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：还包括背板(1)、限位导向组件(6)和窗口遮板(7)，窗口遮板(7)设置在升降框组件(4)上，用于隔绝取片窗口与外部之间的环境，支撑底座组件(2)设置在背板(1)的底部，升降组件(5)和限位导向组件(6)设置在背板(1)上。
3.如权利要求1所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述支撑底座组件(2)包括支撑底座(201)，支撑底座(201)顶部设置有按键(206)和指示灯(207)，支撑底座(201)底部设置有控制板(202)、电磁阀组件(203)、开关(204)和电源接口(205)。
4.如权利要求2所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述解锁平移组件(3)包括晶盒放置平台(301)、限位销钉(302)、解锁组件(303)、旋转解锁气缸(304)，限位销钉(302)设有多个，多个限位销钉(302)间隔设置在晶盒放置平台(301)顶部，用于对晶盒底座(801)进行限位，解锁组件(303)转动设置在晶盒放置平台(301)上，把晶圆盒(8)放置到晶盒放置平台(301)上后，解锁组件(303)进入晶盒底座(801)底部匹配的槽内，通过旋转解锁气缸(304)进行驱动解锁组件(303)，完成晶盒底座(801)与晶盒外壳(802)的结构分离，同时完成对晶盒底座(801)的固定。
5.如权利要求4所述的一种晶圆传输标准机械接口装载装置，其特征在于：所述解锁平移组件(3)还包括平移气缸(306)、平移导轨(307)、平移滑块(308)和缓冲...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔彬，相宇阳，戴金方，耿晓杨，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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