MEMS绝压压力传感器测试用压力罐制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS绝压压力传感器测试用压力罐，压力罐设有腔内气压控制端口和密封航空接头，压力罐包括罐体和盖体，盖体与罐体相对的一侧上设有同心的第一密封圈和第二密封圈，第一密封圈套设于第二密封圈外，盖体上设有抽真空气路，盖体与罐体相对的一侧设有与抽真空气路连通的抽真空孔，抽真空孔位于第一密封圈和第二密封圈之间，盖体外表面设有与抽真空气路连通的外接孔。本申请利用压差压紧固定盖体，并利用压差使罐体的内腔成为气密性良好的封闭腔，满足MEMS绝压压力传感器的测试要求，并且只需要使空腔与外界相通即可取下盖体，与现有技术相比，单人即可操作，操作简单，省时省力，测试效率大大提高，且气密性良好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及mems传感器，具体地说，涉及一种mems绝压压力传感器测试用压力罐。

技术介绍

1、mems绝压压力传感器产品一般体积较小，多用于消费电子领域。对此类产品进行压力测试时，需要在稳定的压力环境中。

2、如图1所示，目前，一般的方法是将mems绝压压力传感器放置在特制的密封压力罐中进行，压力罐一般分为盖体2和罐体1两部分，罐体1上设有腔内气压控制端口13和密封航空接头14，腔内气压控制端口13与外部压力控制器相连接，用于控制压力罐内部的压力，密封航空接头14与mems绝压压力传感器连接，用于为mems绝压压力传感器提供电压以及采集mems绝压压力传感器的输出信号。

3、产品测试时，先将盖体2打开，将待测试的mems绝压压力传感器放置于罐体1中，然后将盖体2盖于罐体1上，形成密闭的空腔，然后控制压力罐内部的压力，测试mems绝压压力传感器。测试完成后，打开盖体2，取出mems绝压压力传感器。

4、其中，盖体2与罐体1之间的连接方式为螺纹连接，为保证测试准确性，压力罐的气密性必须良好，因此需要将盖体2与罐体1拧的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS绝压压力传感器测试用压力罐，压力罐设有腔内气压控制端口和密封航空接头，所述压力罐包括：罐体和盖体，其特征在于，所述盖体与所述罐体相对的一侧上设有同心的第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈套设于所述第二密封圈外，所述盖体上设有抽真空气路，所述盖体与所述罐体相对的一侧设有与所述抽真空气路连通的抽真空孔，所述抽真空孔位于所述第一密封圈和所述第二密封圈之间，所述盖体外表面设有与所述抽真空气路连通的外接孔。

2.如权利要求1所述的MEMS绝压压力传感器测试用压力罐，其特征在于，所述盖体与所述罐体相对的一侧上设有支撑环，所述支撑环的凸出高度低于所述第一密封圈和所述第二密...

【技术特征摘要】

1.一种mems绝压压力传感器测试用压力罐，压力罐设有腔内气压控制端口和密封航空接头，所述压力罐包括：罐体和盖体，其特征在于，所述盖体与所述罐体相对的一侧上设有同心的第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈套设于所述第二密封圈外，所述盖体上设有抽真空气路，所述盖体与所述罐体相对的一侧设有与所述抽真空气路连通的抽真空孔，所述抽真空孔位于所述第一密封圈和所述第二密封圈之间，所述盖体外表面设有与所述抽真空气路连通的外接孔。

2.如权利要求1所述的mems绝压压力传感器测试用压力罐，其特征在于，所述盖体与所述罐体相对的一侧上设有支撑环，所述支撑环的凸出高度低于所述第一密封圈和所述第二密封圈的凸出高度。

3.如权利要求2所述的mems绝压压力传感器测试用压力罐，其特征在于，所述支撑环包括与所述第一密封圈同心的内支撑环和外支撑环，所述内支撑环位于所述第二密封圈内，所述外支撑环位于所述第一密封圈外。

4.如权利要求1所述的mems绝压压力传感器测试用压力罐，其特征在于，所述罐体与所述盖体相对的一侧设有与所述第一密封圈同心的环形定位凸台，所述盖体与所述罐体相对的一侧设有定位凹槽，所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：周汪洋，陈磊，张强，胡洪，王栋杰，周志健，
申请(专利权)人：歌尔微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：