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本发明公开了一种MEMS绝压压力传感器测试用压力罐，压力罐设有腔内气压控制端口和密封航空接头，压力罐包括罐体和盖体，盖体与罐体相对的一侧上设有同心的第一密封圈和第二密封圈，第一密封圈套设于第二密封圈外，盖体上设有抽真空气路，盖体与罐体相对的...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。

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