【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英制品加工领域，尤其涉及一种石英三爪的垂直度校正装置和方法。
技术介绍
1、目前，由于在工艺腔中需保证硅片的水平度，石英三爪产品对精度的要求日益提升。现有的石英三爪产品在焊接后对垂直度有高精度要求，很多时候经过焊接后的石英三爪垂直度会发生变化，导致垂直度达不到尺寸精度要求，容易使硅片滑落导致损伤，不仅会影响硅片外观和形状，还会影响硅片的性能和质量。因此，亟需一种新型的石英三爪的垂直度校正装置和方法以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英三爪的垂直度校正装置和方法，该装置用于校正石英三爪的垂直度。
2、第一方面，本专利技术提供一种石英三爪的垂直度校正装置，包括：直角尺、升降模块、检测模块和加热模块；所述直角尺用于从n个不同的方向夹紧石英三爪的支撑杆，以使支撑杆的轴心沿垂直方向，n为大于2的整数；所述检测模块用于检测石英三爪的3个支撑爪的垂直度；所述加热模块用于加热所述石英三爪，以使所述石英三爪局部软化；所述升降模块与所述支撑爪接触，向所述支撑爪施加支撑力，以调整局部软化后的所述支撑爪的垂直度。
3、可选的，所述升降模块包括升降部；所述升降部沿所述支撑杆的方向伸长时，用于顶升所述支撑爪；所述升降部沿所述支撑杆的方向缩短时，用于支撑下降的所述支撑爪。
4、可选的，所述升降部包括支撑盘和第一调节分部；所述第一调节分部用于顶升所述支撑盘，以使所述支撑盘和所述支撑爪共同上升。
5、可选的，所述升降部还包
6、可选的，所述检测模块包括千分表和移动端；所述移动端与千分表固定连接；所述移动端用于调整所述千分表的高度；所述千分表用于测量所述3个支撑爪的垂直度。
7、可选的，所述加热模块包括火焰枪和枪夹；所述火焰枪和枪夹连接；所述枪夹用于调整所述火焰枪的位置和角度；所述火焰枪用于向所述石英三爪的局部喷射火焰，以使所述石英三爪局部软化。
8、可选的，所述支撑爪与支撑杆的连接处设有焊接部；所述加热模块用于加热所述焊接部，以使支撑爪能够相对于所述支撑杆活动。
9、第二方面，本专利技术提供一种石英三爪的垂直度校正方法，用于控制第一方面中任一项所述的装置，包括：s1，从n个不同的方向夹紧石英三爪的支撑杆，以使支撑杆的轴心沿垂直方向，n为大于2的整数；s2，检测石英三爪的3个支撑爪的垂直度；s3，加热所述石英三爪，以使所述石英三爪局部软化；s4，控制升降模块与所述支撑爪接触，向所述支撑爪施加支撑力，以调整局部软化后的所述支撑爪的垂直度。
10、可选的，所述s4包括：控制所述升降模块的升降部沿所述支撑杆的方向伸长，以顶升所述支撑爪；或控制所述升降模块的升降部沿所述支撑杆的方向缩短，以支撑下降的所述支撑爪。
11、可选的，所述方法还包括：s5，再次检测石英三爪的3个支撑爪的垂直度；s6，当3个支撑爪的垂直度不一致时，重复执行s3-s5；s7，当3个支撑爪的垂直度一致时，保持所述升降模块静置，以使所述石英三爪冷却定型。
12、本专利技术的装置有益效果为：本专利技术通过所述加热模块加热所述石英三爪，以使所述石英三爪局部软化，以便调整所述支撑爪的垂直度，避免所述支撑爪在调整垂直度时受力过大而破损。本专利技术通过所述升降模块与所述支撑爪接触，向所述支撑爪施加支撑力，以调整局部软化后的所述支撑爪的垂直度，有利于确保提升支撑爪的垂直度精度，有利于平稳支撑硅片，避免硅片滑落损伤，确保硅片外观和形状满足要求，并稳定硅片的性能和质量。
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1.一种石英三爪的垂直度校正装置，其特征在于，包括：直角尺、升降模块、检测模块和加热模块；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述升降模块包括升降部；
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述升降部包括支撑盘和第一调节分部；
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述升降部还包括第二调节分部；
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测模块包括千分表和移动端；
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述加热模块包括火焰枪和枪夹；
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑爪与支撑杆的连接处设有焊接部；所述加热模块用于加热所述焊接部，以使支撑爪能够相对于所述支撑杆活动。
8.一种石英三爪的垂直度校正方法，用于控制所述权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述S4包括：
10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述S4后，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种石英三爪的垂直度校正装置，其特征在于，包括：直角尺、升降模块、检测模块和加热模块；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述升降模块包括升降部；
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述升降部包括支撑盘和第一调节分部；
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述升降部还包括第二调节分部；
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测模块包括千分表和移动端；
6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，杨光，金盛杰，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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