【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片搬运，特别是涉及一种接片平台、硅片输送装置与镀膜系统。
技术介绍
1、在太阳能电池片生产时，通常会涉及到硅片的镀膜工艺，具体是将硅片输送到镀膜系统中，对硅片的正反面采用相关化学气相沉积工艺进行镀膜。
2、相关技术中，通过龙门摆臂吸附多个硅片，将多个硅片转移输送到接片平台上，接片平台上设有定位销，通过定位销对硅片进行定位。然后，由接片平台平移动作带动其上多个硅片输送到传输跑道机构中。接片平台降低自身高度位置，使得其上的多个硅片转移到传输跑道机构上，并由传输跑道机构送入到花篮中，最后通过花篮带动多个硅片完成翻转动作。硅片完成180°翻转后，进入到下一个镀膜腔室中进行相应处理。
3、然而，硅片由龙门摆臂转移到接片平台上后，容易出现搭边缺陷，并在进入到花篮过程中，与花篮发生碰撞导致碎片，而最终需要停机进行检修，进而导致输送效率较低。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种接片平台、硅片输送装置与镀膜系统，它能够减小硅片搭边缺陷，进而能降低...
【技术保护点】
1.一种接片平台(10)，其特征在于，所述接片平台(10)包括：
2.根据权利要求1所述的接片平台(10)，其特征在于，全部所述定位件(12)包括沿第一方向依次间隔设置的多个纵列(123)以及沿第二方向依次间隔设置的多个横排(124)；每个所述纵列(123)包括沿所述第二方向依次间隔设置的多个第一定位件(1231)，每个所述横排(124)包括沿所述第一方向依次间隔设置的多个第二定位件(1241)。
3.根据权利要求1所述的接片平台(10)，其特征在于，所述导向段(122)沿所述定位件(12)的中心轴线O的截面轮廓为圆形、椭圆形或多边形；和/或，...
【技术特征摘要】
1.一种接片平台(10)，其特征在于，所述接片平台(10)包括：
2.根据权利要求1所述的接片平台(10)，其特征在于，全部所述定位件(12)包括沿第一方向依次间隔设置的多个纵列(123)以及沿第二方向依次间隔设置的多个横排(124)；每个所述纵列(123)包括沿所述第二方向依次间隔设置的多个第一定位件(1231)，每个所述横排(124)包括沿所述第一方向依次间隔设置的多个第二定位件(1241)。
3.根据权利要求1所述的接片平台(10)，其特征在于，所述导向段(122)沿所述定位件(12)的中心轴线o的截面轮廓为圆形、椭圆形或多边形；和/或，所述导向面(1221)与经过所述中心轴线o的平面相交得到相交线(1222)，所述相交线(1222)包括圆弧形线、椭圆弧形线、抛物线以及直线中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的接片平台(10)，其特征在于，所述接片平台(10)还包括设置于所述承托面上的感应器(13)；所述感应器(13)用于感应所述承托面上的所述硅片(20)是否搭边。
5.根据权利要求4所述的接片平台(10)，其特征在于，所述感应器(13)设有光线发射部(131)以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨瑞民，刚立刚，齐文龙，范禧龙，杨超，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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