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本申请涉及一种接片平台、硅片输送装置与镀膜系统,接片平台包括承托件。承托件设有用于承托硅片的承托面以及设于承托面上并用于与硅片抵接定位的多个定位件。定位件包括定位段以及与定位段相连的导向段。定位段与承托面相连,定位段用于与硅片侧边抵接定位,...该专利属于通威太阳能(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(安徽)有限公司授权不得商用。
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