一种探针卡清洗溶液制造技术

技术编号：39937720 阅读：6 留言：0更新日期：2024-01-08 22:19

本发明专利技术公开了一种探针卡清洗溶液，包括以下成分的重量百分比：戊烷20～30%、庚醇25～35%、正丙醇35～40%、甲基乙基甲酮1～3%、乙醇6～15%。本发明专利技术的探针卡清洗溶液中合理配置了各有效组分以及溶剂的用量，能够针对MEMS探针卡上附着的极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质进行有效的清洁，确保MEMS探针卡的性能和质量不受MEMS探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着问题影响，并且所述专用清洗液对人体及MEMS探针卡危害性较小，使用安全，并且能够进行二次回收利用，降低使用成本。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工业，具体涉及一种探针卡清洗溶液。

技术介绍

1、探针卡是半导体制造过程中的一种重要测试器件，其主要应用于晶圆表面元器件在线电路测试、功能测试等，而在制造过程中，难免会有极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着在探针卡及探针上，影响探卡整体测试性能，探针卡清洗溶液是一种用于清洗微电子元器件制造过程中使用的化学清洗溶剂。

2、目前传统用于探针卡清洗溶液存在着无法完美去除mems探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着的问题，因此使用探针卡进行测试的技术人员希望有一种针对mems探针卡专用清洗溶剂，可以对附着在mems探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质进行有效完美的去除，并且还能够确保mems探针卡的性能和质量不受影响。

技术实现思路

1、本专利技术的目的针对传统的探针卡的清洗溶液存在着去除mems探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着效果不理想的缺陷，提供一种探针卡清洗溶液，可以对附着在mems探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质进行有效完美的去除，并且还能够确保mems探针卡的性能和质量不受影响。

2、一种探针卡清洗溶液，包括以下成分的重量百分比：

3、戊烷20～30%；

4、庚醇25～35%；

5、正丙醇35～40%；

6、甲基乙基甲酮1～3%；

7、乙醇6～15%。

8、进一步地，所述乙醇的重量百分比为6～8%。

9、进一步地，所述戊烷的重量百分比为24～30%。

10、进一步地，所述庚醇的重量百分比为25～28%或28%～35%。

11、本专利技术所选的戊烷为脂肪烃溶剂，具有优异的渗透能力，可加速粘结树脂

12、的清洗，甲基乙基甲酮为脱蜡洗涤剂，可加速粘结蜡的清洗，正丙醇为有机溶剂助溶剂，可加速有机物的溶解，庚醇、乙醇也具有较强的助溶能力，可加速普通污物的清洗，本专利技术所述的探针卡清洗溶液中合理配置了各有效组分以及各溶剂的用量，各成分相互协同作用，在室温下能够针对mems探针卡上附着的极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质进行有效的清洁，确保mems探针卡的性能和质量不受mems探针卡上极为细小的污垢、尘埃、氧化物、金属残留等物质附着问题影响，并且所述专用清洗液对人体及mems探针卡危害性较小，使用安全，并且能够进行二次回收利用，降低使用成本，可以应用于mems探针卡和pcb行业等领域的板面清洗中，因此具有广泛的应用前景。

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【技术保护点】

1.一种探针卡清洗溶液，其特征在于，包括以下成分的重量百分比：

2.如权利要求1所述的卡清洗溶液，其特征在于，所述乙醇的重量百分比为6～8%。

3.如权利要求1所述的卡清洗溶液，其特征在于，所述戊烷的重量百分比为24～30%。

4.如权利要求1所述的卡清洗溶液，其特征在于，所述庚醇的重量百分比为25～28%或28%～35%。

【技术特征摘要】

1.一种探针卡清洗溶液，其特征在于，包括以下成分的重量百分比：

2.如权利要求1所述的卡清洗溶液，其特征在于，所述乙醇的重量百分比为6～8%。

3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志广，康胜，张海东，刘久源，
申请(专利权)人：道格特半导体科技武汉有限公司，
类型：发明
国别省市：

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