【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体设备，具体涉及一种探针卡清洗装置。
技术介绍
1、探针卡是半导体制造过程中的一种重要测试器件，其主要用于晶圆表面元器件的在线电路测试、功能测试等，探针卡中的金属探针非常脆弱，因此需要非常小心地处理，以避免探针的弯曲、折断等情况，这样会影响探针的精度和寿命，超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。因此探针卡的清洗往往采用超声波清洗装置，而市场上相关设备清洗时，探针卡直接放置在清洗缸中且清洗液在室温下对探针卡进行清洗，其存在着清洗质量不理想和操作不便的问题，因此半导体制造领域的技术人员希望有一种新的装置，可以对上述问题进行改善和解决。
技术实现思路
1、有鉴于此，提供一种探针卡清洗装置，其具有对清洗液专门加热的装置，并且设有专用的放置物件的清洗篮，提高清洗质量，操作方便，极大地增强了用户的体验感。
2、一种探针卡清洗装置，所述探针卡清洗装置包括装置外壳、清洗缸、篮筐组件、超声波组件和加热器组件。
3、所述清洗缸固定安装于所述装置外壳内，所述清洗缸四周以及底部与所述装置外壳相互之间有空间，所述篮筐组件包括篮筐和支架，所述支架均匀固定安装于所述篮筐底部，所述篮筐四周以及底部上有多个孔，多个所述孔用于使清洗液进入和流出且不漏出需清洗物件，所述篮筐组件放置于所述清洗缸内中央，所述篮筐组件四周与所述装置外壳相互之间有间隙，所述超声波组件和所述加热器组件分布安装于
4、所述清洗缸用于容纳清洗液，所述篮筐组件用于放置待清洗物件。
5、进一步地，所述超声波组件包括超声波发生器和多个超声波换能器，多个所述超声波换能器分别接触安装在所述清洗缸的四周和底部。
6、具体地，所述加热器组件包括加热器和多个连接块，多个所述连接块固定连接于所述清洗缸的底部，所述加热器通过多个所述连接块贴合安装于所述清洗缸的底部。
7、进一步地，所述探针卡清洗装置还包括进水管和排水管，所述进水管连通于所述清洗缸上部，所述排水管连通于所述清洗缸底部，所述进水管和所述排水管上分别安装有电磁阀，所述排水管上还安装有过滤器。
8、优选地，所述清洗缸具有缸体架，所述缸体架固定安装于所述清洗缸底部中央，所述缸体架用于支撑所述清洗缸，所述清洗缸四周还贴附有隔热层，所述隔热层为柔软发泡构件。
9、具体地，所述探针卡清洗装置还包括上盖，所述上盖具有手柄，所述上盖设于所述探针卡清洗装置顶部，所述上盖用于隔热和防止杂物进入所述探针卡清洗装置。
10、在一些具体实施方案中，所述探针卡清洗装置还包括排热扇，所述排热扇安装于所述装置外壳四周侧面。
11、在一些具体实施方案中，所述探针卡清洗装置还包括液位计，所述液位计安装于所述清洗缸上部，所述液位计用于控制所述清洗缸内清洗液的液面顶部的高度。
12、具体地，所述探针卡清洗装置还包括控制组件，所述控制组件包括显示面板、多个按钮、温度探头、控制处理器和报警器。
13、所述显示面板、多个所述按钮和所述报警器分别安装于所述装置外壳四周侧面，所述控制处理器安装于所述装置外壳内部，所述温度探头贴合安装于所述清洗缸外侧。
14、所述控制处理器有线路连接于所述显示面板、所述报警器、多个所述按钮、所述电磁阀、所述排热扇、所述液位计、所述温度探头、所述加热器组件和所述超声波组件，多个所述按钮用于输送指令，所述控制处理器为plc控制器或单片机控制器。
15、具体地，所述探针卡清洗装置还包括多个脚轮，多个所述脚轮安装于所述装置外壳底部。
16、上述探针卡清洗装置中，其具有温度可控制的对清洗液进行专门加热的装置，这样可以做到清洗液在清洗效果最佳的温度下进行超声波清洗，另外还设有专用的放置物件的清洗篮，有效避免了被清洗物件与清洗装置内壁碰撞，既提高了放置或取出清洗物件的效率，又增加清洗后物件的安全可靠性，且清洗掉的污物从清洗篮中漏出，不再接触清洗物件，清洗更加彻底有效，极大提高清洗质量。综上所述这样达到了提高清洗质量和方便操作的使用效果，具有广泛的应用前景。
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1.一种探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置包括装置外壳、清洗缸、篮筐组件、超声波组件和加热器组件；
2.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述超声波组件包括超声波发生器和多个超声波换能器，多个所述超声波换能器分别接触安装在所述清洗缸的四周和底部。
3.如权利要求2所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述加热器组件包括加热器和多个连接块，多个所述连接块固定连接于所述清洗缸的底部，所述加热器通过多个所述连接块贴合安装于所述清洗缸的底部。
4.如权利要求3所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括进水管和排水管，所述进水管连通于所述清洗缸上部，所述排水管连通于所述清洗缸底部，所述进水管和所述排水管上分别安装有电磁阀，所述排水管上还安装有过滤器。
5.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述清洗缸具有缸体架，所述缸体架固定安装于所述清洗缸底部中央，所述缸体架用于支撑所述清洗缸，所述清洗缸四周还贴附有隔热层，所述隔热层为柔软发泡构件。
6.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于
7.如权利要求4所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括排热扇，所述排热扇安装于所述装置外壳四周侧面。
8.如权利要求7所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括液位计，所述液位计安装于所述清洗缸上部，所述液位计用于控制所述清洗缸内清洗液的液面顶部的高度。
9.如权利要求8所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括控制组件，所述控制组件包括显示面板、多个按钮、温度探头、控制处理器和报警器；
10.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括多个脚轮，多个所述脚轮安装于所述装置外壳底部。
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置包括装置外壳、清洗缸、篮筐组件、超声波组件和加热器组件；
2.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述超声波组件包括超声波发生器和多个超声波换能器，多个所述超声波换能器分别接触安装在所述清洗缸的四周和底部。
3.如权利要求2所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述加热器组件包括加热器和多个连接块，多个所述连接块固定连接于所述清洗缸的底部，所述加热器通过多个所述连接块贴合安装于所述清洗缸的底部。
4.如权利要求3所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述探针卡清洗装置还包括进水管和排水管，所述进水管连通于所述清洗缸上部，所述排水管连通于所述清洗缸底部，所述进水管和所述排水管上分别安装有电磁阀，所述排水管上还安装有过滤器。
5.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于，所述清洗缸具有缸体架，所述缸体架固定安装于所述清洗缸底部中央，所述缸体架用于支撑所述清洗缸...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志华，康胜，刘久源，
申请(专利权)人：道格特半导体科技武汉有限公司，
类型：新型
国别省市：
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