单晶炉降低热场功耗的装置制造方法及图纸

本技术公开了一种单晶炉降低热场功耗的装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是降低单晶拉制过程中的功耗。本技术的主要技术方案为：单晶炉降低热场功耗的装置，该装置包括：内层保温桶、中间层保温桶和外保温层；所述保温桶设置于单晶炉热场外围；所述中间层保温桶包裹于所述内层保温桶的外侧，所述中间层保温桶的桶壁内形成有真空夹层结构；所述外保温层包裹于所述中间层保温桶的外侧。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉设备，尤其涉及一种单晶炉降低热场功耗的装置。

技术介绍

1、低成本、高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力。为进一步降低成本，大尺寸热场及大尺寸硅片应运而生，但大热场随之带来了功耗高的问题。功耗高不仅会引起拉晶成本上升，还会影响单晶生长的稳定性。单晶炉中影响功耗的主要是热量利用和热量损耗两个方面，热场保温系统使用的pan毡保温性能差，黏胶基高效毡保温性能比pan毡好，但是其价格昂贵，不利于推广使用。碳碳复合材料具有低的导热系数，但成本是石墨的2倍以上，无法推广。

2、现有技术中的单晶炉使用石英坩埚为硅料的容器，热场外围使用碳碳毡包裹，以此来降低热场热量的流失，成本较高。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术提供一种单晶炉降低热场功耗的装置，主要目的是降低单晶拉制过程中的功耗，降低成本。

2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：

3、本技术提供了一种单晶炉降低热场功耗的装置，该装置包括：内层保温桶、中间层保温桶和外保温层；>

4、所述保温本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，

5.根据权利要求1至4任一项所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的单晶炉降低热场功耗...

【专利技术属性】
技术研发人员：童翔，贺琪，梁国东，廖运龙，曹国维，
申请(专利权)人：新疆其亚硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：