【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉设备，尤其涉及一种单晶炉降低热场功耗的装置。
技术介绍
1、低成本、高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力。为进一步降低成本，大尺寸热场及大尺寸硅片应运而生，但大热场随之带来了功耗高的问题。功耗高不仅会引起拉晶成本上升，还会影响单晶生长的稳定性。单晶炉中影响功耗的主要是热量利用和热量损耗两个方面，热场保温系统使用的pan毡保温性能差，黏胶基高效毡保温性能比pan毡好，但是其价格昂贵，不利于推广使用。碳碳复合材料具有低的导热系数，但成本是石墨的2倍以上，无法推广。
2、现有技术中的单晶炉使用石英坩埚为硅料的容器，热场外围使用碳碳毡包裹，以此来降低热场热量的流失，成本较高。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种单晶炉降低热场功耗的装置，主要目的是降低单晶拉制过程中的功耗，降低成本。
2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
3、本技术提供了一种单晶炉降低热场功耗的装置，该装置包括：内层保温桶、中间层保温桶和外保温层；
4、所述保温桶设置于单晶炉热场外围；
5、所述中间层保温桶包裹于所述内层保温桶的外侧，所述中间层保温桶的桶壁内形成有真空夹层结构；
6、所述外保温层包裹于所述中间层保温桶的外侧。
7、本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
8、可选的，所述中间层保温桶采用不锈钢材质。
9、可选的，所述中间层保温桶的表面热浸镀
10、可选的，所述中间层保温桶的表面热浸镀有铝镀层。
11、可选的，所述内层保温桶采用碳碳复合材料，所述外保温层采用软毡材质。
12、借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
13、在单晶拉制过程中，中间层保温桶的真空夹层结构避免热对流，有效降低热传导，降低单晶炉热场的热量损耗，降低单晶拉制过程中的平均功耗，同时，中间层保温桶采用真空夹层结构，在单晶炉有限的空间内减少了保温材料实体部分的投入成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至4任一项所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的单晶炉降低热场功耗的装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的单晶炉降低热场功耗...
【专利技术属性】
技术研发人员：童翔，贺琪，梁国东，廖运龙，曹国维，
申请(专利权)人：新疆其亚硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。