下载单晶炉降低热场功耗的装置的技术资料

文档序号:39932301

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本技术公开了一种单晶炉降低热场功耗的装置,涉及单晶炉设备技术领域,主要目的是降低单晶拉制过程中的功耗。本技术的主要技术方案为:单晶炉降低热场功耗的装置,该装置包括:内层保温桶、中间层保温桶和外保温层;所述保温桶设置于单晶炉热场外围;所述中间...
该专利属于新疆其亚硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆其亚硅业有限公司授权不得商用。

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